Gebraucht CANON FPA 3000 EX4 #293586146 zu verkaufen

CANON FPA 3000 EX4 ist ein hochpräziser Wafer-Stepper zur Herstellung von Halbleiterchips. Es ist in der Lage, Wafer bis 300mm Durchmesser zu handhaben und ist mit einer achtkanaligen, zweistufigen optischen Ausrüstung für hohe Präzision und Ausrichtungsgenauigkeit ausgestattet. Dieser Stepper kann auch einzelne und mehrere Belichtungsschüsse verarbeiten, mit der Fähigkeit, Belichtungsparameter für verarbeitete Wafer anzupassen. CANON FPA-3000EX4 ist mit einem neu entwickelten Vektor-Kontroll-Schuss-Verschiebesystem und einer feinen Bilderzeugungslinse konzipiert. Dies gewährleistet eine konstante Fokussierung und eine gleichbleibende Bildqualität über den gesamten Wafer. Die integrierte Schwingungsisolationseinheit eliminiert Schwingungen während der Belichtung und minimiert die Dämpfungszeit der Temperaturinstabilität infolge thermischer Drift. Es ist auch mit einem High-Speed-I/O-Controller ausgestattet, der eine schnelle Verarbeitung großer Datenmengen während des Belichtungsprozesses ermöglicht. Für eine hohe Bildgebungsfähigkeit ist FPA-3000 EX4 mit der neu entwickelten EX4 Imaging Control Machine ausgestattet. Dies bietet eine hochgenaue und zuverlässige Bildanzeige, die den gesamten automatischen Ausrichtungsprozess vereinfacht. Es kommt auch mit einem neu entwickelten High-Precision Autofocus Tool (HPAS) entwickelt, um die optimale Fokusebene zu finden, wenn die Waferdicke ändert. FPA-3000EX4 bietet eine hocheffiziente Beleuchtungskapazität für eine optimale Energieausnutzung. Mit seinem Sechs-Laser-Reflektor kann dieser Stepper Energieintensitäten von bis zu 7.000 mW㎡ für photolithographische Prozesse erreichen. Die eingebaute Mikroschere Tilt (MST) Kompensator verhindert Querneigungsfehler während der Exposition durch schnelle und genaue Erkennung der Neigung des Schusses. Zur Benutzerfreundlichkeit ist die FPA 3000 EX4 mit einem benutzerfreundlichen Monitor ausgestattet, mit dem der Bediener die Ausrichtung des Wafers anzeigen und gleichzeitig Belichtungsparameter steuern kann. Es hat auch eine Vorschaumodus-Funktion, die es dem Benutzer ermöglicht, einen Vorbelichtungsschuss zu betrachten, um die Ausrichtung von verarbeiteten Wafern zu überprüfen. Dies ermöglicht eine schnelle und genaue Positionierung der Belichtung während des Herstellungsprozesses. Um eine stabile Verarbeitung von Wafern zu ermöglichen, bietet CANON FPA-3000 EX4 eine Luftreinigungsregelung, die die Partikelverschmutzung reduziert und seine saubere Umgebung optimiert, um eine saubere Waferoberfläche zu erhalten. Es hat auch ein Heliumaustauschmodell, das Röntgenschäden durch Wafer reduzieren kann. CANON FPA 3000 EX4 ist aufgrund seiner zuverlässigen Leistung, hohen Geschwindigkeiten und Präzisionsausrichtung eine ideale Wahl für Präzisionsscheibenstufen. Seine umfassenden Eigenschaften machen es zu einer ausgezeichneten Wahl für die Herstellung von Halbleiterchips.