Gebraucht NIKON NSR 1505 i7A #9409898 zu verkaufen
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ID: 9409898
Weinlese: 2010
Stepper
Lens data
Field size: 15 x 15 mm
Lamp uniformity: < 2%
Flash power: 300 Mw
Exposure stability: ≤ 1.4%
Water flatness: ≤ 25µm
LSA Focus: < 1.5 µm
Tele focus: < 0.02 µm
Reticle blinds: 0.4 - 0.8 µm
Stepping: Sigma < 0.03 µm
Orthagonality: < 0.2 sec
Reticle rotation: RRep ≤ 0.02 µm
Wafer loader repeatability: Sigma ≤ 5 µm
Overlay: 3 σ
with average ≤ 0.13 µm
Focus repeatability: 3-1 ≤ 0.15 µm
Lens tilt:
UR - LL ≤ 0.45 µm
UL - LR ≤ 0.45 µm
2010 vintage.
NIKON NSR 1505 i7A Wafer Stepper ist eine hochpräzise, kompakte Lithographie-Ausrüstung, die für die Herstellung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente entwickelt wurde. Es verwendet eine 7-Nanometer-Auflösungs-Schritt-/Scan-Technologie mit einem sehr zuverlässigen Schritt-/Scankopf und verfügt über eine große Arbeitsfeldgröße von 420mm x 500mm. Die Fähigkeit dieser Maschine, ein großes Arbeitsfeld zu überspannen, ohne die Auflösung zu verringern, bietet ihr einen einzigartigen Vorteil in modernen Nanotechnologie-Anwendungen. Die optische Architektur von NIKON NSR-1505I7A Wafer Stepper basiert auf einem einfachen und effektiven Design. Das System ist aus einer ultrahochauflösenden optischen Linse und einer niedrigen NA-Projektionsoptik aufgebaut. Diese Kombination ergibt ein Bildfeld von 420mm x 500mm und eine höchste Auflösung von 7nm, was die Verschiebung eines Objekts genau steuert, um eine konstante Schrittweite zu erreichen. Beide Varianten der statischen und Abtastkopfanwendungen des Wafer-Steppers werden unterstützt, was Flexibilität in der Produktion ermöglicht. NSR 1505 I7A Wafer Stepper kommt mit einer bewährten Erfolgsbilanz für Leistung und Genauigkeit. Es verfügt über fortschrittliche Bewegungssteuerungstechnologie mit 6-Achsen-Bewegungssteuerung und vereinfachter Positionierung, die eine höhere Genauigkeit und Präzision des Prozesses garantiert. Diese Maschine ist auch mit einem ergonomischen und benutzerfreundlichen Satz von Software ausgestattet, so dass es einfach zu bedienen. NSR 1505 i7A Wafer Stepper verwendet eine Reihe fortschrittlicher Funktionen, einschließlich eines selbstlernenden Algorithmus, um die Effizienz photolithographischer Belichtungen zu maximieren. Das Gerät ist in der Lage, Bildgebung höherer Auflösung und verbesserte Pupillenpolarisation zu erreichen, so dass Benutzer noch klarere Bilder und unterirdische Bildgebung erhalten. Die Maschine verfügt zudem über eine automatisierte Ausrichtung, die eine schnelle Integration in Produktionslinien ermöglicht. NSR 1505 I 7 A Wafer Stepper ist eine äußerst zuverlässige und effiziente Maschine, mit der Anwender eine hochpräzise Lithographie auf einer Vielzahl von Substraten erzielen können. Seine kompakte Größe ermöglicht eine einfache Installation in bestehende Produktionslinien mit minimaler Rüstzeit. Die Vorteile dieser Maschine, gepaart mit ihrer intuitiven und benutzerfreundlichen Software, machen sie zu einer idealen Wahl für die Fertigung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente.
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