Gebraucht NIKON NSR 1755 i7A #293655181 zu verkaufen
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ID: 293655181
Wafergröße: 6"
Stepper, 6"
(2) CVCF NEMA Boxes
Reticle, 5"
Wafer chuck, 6"
0.5 NA
Variable reticle microscope: 15, 17.5
Reticle barcode reader
Reticle case, 5"
Wafer type: Semi wafer
Wafer chuck type: Ring
Pre alignment2 / Hammer, 6"
Wafer loader
Chip levelling
Carrier table: Left / Right
HP 5517A Laser
Right rack
ASAHI S78 Chamber
Chamber temperature: 23°C
NEST2 PC.
NIKON NSR 1755 i7A ist ein hochmoderner Wafer-Stepper für Waferprozesse in einer Vielzahl von Anwendungen. Mit einem hochgenauen Schritt und Scan und Hochgeschwindigkeitsbetrieb verspricht dieser Stepper einen verbesserten Durchsatz, höhere Erträge, gesunkene Kosten und insgesamt höhere Produktivität. Der Stepper verfügt über eine zweiachsige Ausrüstung, die neue Scan- und Spiegelsysteme verwendet, um die Genauigkeit und Geschwindigkeit zu erhöhen. Es verfügt außerdem über eine branchenführende Option für bewegliche Stufen, die Beschleunigungen ermöglicht, die bis zu 20% schneller sind als andere Modelle, und dabei die Taktgenauigkeit beibehält. Der Stepper verfügt außerdem über eine hochpräzise Kantenausrichtungsfunktion und Wafer-Level-Entladung, die eine konsistente Spankantenplatzierung gewährleistet. Darüber hinaus verwendet NIKON NSR 1755I7A bildbasierte Maßnahmen zur automatischen Bedienung, die die Vorbereitungszeit für einen Wafer innerhalb von nur 7 Minuten verkürzen. NSR-1755I7A verwendet ein 400nm optisches System mit einer 5.2 Diagonalmessung, die höchste Genauigkeit und Fehlerspannen für Prozesse wie Photolithographie gewährleistet. Die Photolithographie-Einheit ermöglicht eine Resistverarbeitungssteuerung und eine verbesserte optische Auflösung, was eine bessere Dosisgenauigkeit und Gleichmäßigkeit des Films ermöglicht. Es verwendet modernes optisches Design, eine Reihe von Prozesssteuerungstools und integrierte schnelle CD-Verarbeitung, um die gewünschten Funktionen zu Dimensionen und Genauigkeit zu erreichen. Die Linsensysteme verwenden auch NIKON Precision Optics und bieten höchste Bildqualität und numerische Blendengenauigkeit. Darüber hinaus ist NSR-1755 I 7 A für eine Vielzahl von Prozessgrößen von 200 mm bis 12 Zoll oder mehr ausgelegt. Der Wafer-Stepper ist zudem vollautomatisiert und verfügt über eine vorbeugende Wartungsfunktion vor Ort, die den Weiterbetrieb ohne Unterbrechung ermöglicht. Darüber hinaus verfügt der Stepper über eine sensorbasierte Maschine, die optimale Belichtungsbedingungen bietet. Alles in allem ist NSR 1755 i7A ein fortschrittlicher Wafer-Stepper, der hochgenaue Schritte und Scan und Hochgeschwindigkeitsbetrieb bietet. Dieser Stepper kann helfen, den Durchsatz, höhere Erträge, gesunkene Kosten und eine bessere Produktivität in einer Vielzahl von Waferprozessanwendungen zu verbessern.
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