Gebraucht NIKON NSR 2005 i8A #293617129 zu verkaufen

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Hersteller
NIKON
Modell
NSR 2005 i8A
ID: 293617129
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1992
Stepper, 8" Laser Model: < 1mW He-Ne laser (5) Reticles: 6” x 6” Lamp power supply (2) CCU NVC6B-U Black and white cameras Computer Monitor: Black and white HBO Lamp: 2000 W Stage: Stage axis: X, Y, Z Automated Stage Vacuum Short circuit interrupting capacity: 22 KA Compressed air Chemical: Freon-22 Suniso 3GS Refrigeration Oil Non-contact cooling water Motor / load: 12 A Power supply: 208 V, 40 A, 50/60 Hz, 3 Phase 1992 vintage.
NIKON NSR 2005 i8A ist ein Waferstepper, eine Maschine zur Skalierung der Produktion von Halbleiterbauelementen in der Elektronikindustrie. Es arbeitet durch Energieübertragung von einer Laserdiode oder von einem fokussierten Ionenstrahl (FIB), um das gewünschte Muster auf einem Substrat zu erreichen. NIKON NSR 2005I8A wurde entwickelt, um die Kosten zu senken und die Produktivität im Halbleiter-Massenproduktionsprozess zu verbessern. NSR-2005I8A ist mit einer integrierten Beleuchtung ausgestattet, die die Belichtungszeit jeder Belichtung reduziert. Diese kurze Belichtung reduziert die Wirkung von Stromversorgungsschwankungen sowie Partikeln und Verschmutzungen und ermöglicht eine höhere Prozessstabilität. Darüber hinaus wurde die Beschleunigungs-/Entschleunigungszeit auf 7 ms reduziert, was eine nicht optimale Belichtungszeit minimiert, um den Produktionsdurchsatz zu maximieren und mögliche Schäden oder Ressourcen aus der Belichtungszeit zu reduzieren. Darüber hinaus verfügt es über ein großes Druckfeld, das die Herstellung größerer Werkzeuge mit höherer Auflösung und weniger Defekten ermöglicht. NSR 2005I8A bietet eine verbesserte Stabilität mit einer Laserleistungsstabilität von ± 0,1%, was verbesserte und konsistente Ergebnisse ermöglicht. Seine Stich-Bond-Mismatch-Steuerung erreicht unterdessen eine geringe Heftverzerrung durch Überwachung der Heftrichtung und minimiert Verzerrungen bei Feinmusternähten. Das Belichtungssteuerungssystem ermöglicht zudem die Oberflächenrauhigkeit und Bildqualitätskontrolle. Die Maschine ist weiterhin mit einer Softwarefunktion ausgestattet, die eine Korrektur bei Belichtung und Diagnose nach der Exposition ermöglicht, um eine fehlerfreie Produktqualität zu gewährleisten. NSR-2005 I8A verfügt auch über Auto-Fokus-Ausrichtung und erweiterte Auto-Fokus-Algorithmen, in der Lage, schnell führt Auto-Fokus aufgrund seiner niedrigen Aberration Projektion Optik. Seine zellweise Bewertungstechnik verbessert die Produktivität und Ausbeute auf Massenproduktionsebene weiter. Es verfügt auch über eine dreidimensionale Ausrichtungsfunktion, die alle kritischen Dimensionsfehler korrigieren kann, während sein integrierter Allzweck-I/O-Port Prozesse wie Betriebsdatenkommunikation und Prozessmanagement vereinfacht. Insgesamt ist NSR 2005 i8A ein leistungsstarker Wafer-Stepper, der in der Lage ist, konsistente, qualitativ hochwertige Ergebnisse in der Massenproduktion von Halbleiterbauelementen zu erzielen. Seine fortschrittlichen Funktionen und Technologien ermöglichen es ihm, eine schnelle Exposition mit minimaler Belichtungszeit und besserer Stabilität durchzuführen, wodurch ein qualitativ hochwertigeres Produkt und eine verbesserte Produktivität im Prozess gewährleistet werden.
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