Gebraucht NIKON NSR 2005 i8A #9041676 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9041676
Stepper, 6"
Basic version: MCS2
Main computer:
System: PDP11/73, VT-284
CRT Monitor
Hard disk: RZ26L-E
(1) Disk drive: 5.25"
Illumination type: Normal
Wafer stage: Ring type chuck, Ball screw type
Interferometer: HP Laser
Reticle alignment: ISS
Reticle microscope: Variable (15 mm, 17.5 mm)
Wafer alignment: LSA, FIA
Auto focus: Single
Wafer loader: Type-1, OF Type
Flatzone: Front
In-Line exist (Left)
Cassette: Left/Right
Control rack position: Right
Reticle loader: 6" Reticle, Added library, 26 slots
PPD: Available
Barcode system: Available
Chamber type: ASAHI Chamber
No missing parts
Powered down
Deinstalled
1993 vintage.
NIKON NSR 2005 i8A Wafer Stepper ist eine fortschrittliche, hochauflösende Lithographieausrüstung, mit der extrem kleine und komplizierte Merkmale auf Halbleiterscheiben gedruckt werden. Das System arbeitet mit einer Projektionslinse mit hoher numerischer Apertur (NA) und hoher Auflösung, um ein mikroskopisches Bild auf einen photoresistbeschichteten Wafer genau zu übertragen. Es ist in der Lage, Funktionen bis zu 1,2 µm mit einem scharfen, hochauflösenden Bild zu drucken. NIKON NSR 2005I8A verfügt über eine ausgeklügelte Einrichtung der bildgebenden Einheit, die aus einem Illuminator, einer Belichtungslinse, einer Bühne und einem Sensor besteht. Der Beleuchter erzeugt ein starkes Licht, das dann von der Belichtungslinse gesteuert und kondensiert wird. Das resultierende Bild wird auf den Wafer projiziert, der auf der Bühne gehalten wird, dank eines Vakuumfutters mit hochpräziser Positionierung und kontrollierter mechanischer Bewegung. Diese Stufe ist auch in der Lage, den Wafer für eine höhere Belichtungsgenauigkeit zu drehen, zu kippen und zu verschieben. Der Sensor ist in die Maschine integriert und dient der Überwachung und Optimierung der Belichtungsdosis für den Wafer. Sein ausgeklügelter Algorithmus arbeitet in Echtzeit und passt die Belichtungsbedingung an, um bestmögliche Ergebnisse zu erzielen. Es ist auch in der Lage, Expositionsprobleme zu erkennen, die die Lithographieleistung negativ beeinflussen könnten. NSR-2005I8A verfügt auch über eine Reihe von Softwareoptionen zur Automatisierung der Belichtungsparametersteuerung und der digitalen Bildverarbeitung. Das Werkzeug ist robust und zuverlässig, so dass es in einer optimierten Weise mit wiederholbarer Leistung arbeiten. Dies wird durch einen erweiterten digitalen Signalprozessor (DSP) und eine hochauflösende CCD-Kamera erreicht, mit der die Musterdaten erfasst und gespeichert werden. Schließlich ist NSR 2005I8A auch mit einem Reinigungsmodell ausgestattet, das Ionenfrästechnologie verwendet, um sicherzustellen, dass die Optikausrüstung sauber und frei von Verunreinigungen gehalten wird, die sonst die Genauigkeit und Stabilität des Belichtungsprozesses beeinträchtigen könnten. Abschließend ist NIKON NSR 2005 I 8 A ein fortschrittliches und hochgenaues Wafer-Stepper-System mit einer Reihe von Funktionen, die helfen, hochpräzise Lithographieergebnisse zu liefern. Seine anspruchsvollen Bildgebungs- und Belichtungssysteme sorgen dafür, dass der Wafer exakt den Bedingungen ausgesetzt ist, um das gewünschte Muster zu erzeugen. Die Verwendung von fortschrittlicher Software und Hardware hilft auch, den Belichtungsprozess zu automatisieren, zu optimieren und zu überwachen, so dass er mit maximaler Effizienz arbeiten kann. Das Gesamtdesign von NSR-2005 I8A ermöglicht es, hochauflösende hochauflösende Bilder auch auf Sub-Micron-Ebenen mit gleichbleibend hoher Leistung zu erzeugen.
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