Gebraucht NIKON NSR 2005 i8A #9041776 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9041776
Stepper, 6"
Basic version: MCS2
Main computer:
System: PDP11/73, VT-284
CRT Monitor
Hard disk: RZ26L-E
(1) Disk drive: 5.25"
Illumination type: Normal
Wafer stage: Ring type chuck, Ball screw type
Interferometer: HP Laser
Reticle alignment: ISS
Reticle microscope: Variable (15 mm, 17.5 mm)
Wafer alignment: LSA, FIA
Auto focus: Single
Wafer loader: Type-1, OF Type
Flatzone: Front
In-Line exist (Right)
Cassette: Left/Right
Control rack position: Left
Reticle loader: 6" Reticle, Added library, 26 slots
PPD: Available
Barcode system: Available
Chamber type: ASAHI Chamber
No missing parts
Powered down
Deinstalled
1994 vintage.
NIKON NSR 2005 i8A ist ein Hochleistungs-Stepper, der sich für photolithographische Anwendungen zur Herstellung von Mikroelektronik- und Anzeigegeräten eignet. Dieser Stepper kann für verschiedene Anwendungen wie Mehrschichtverarbeitung, Maskenausrichtung, Bildgebung und vieles mehr verwendet werden. NIKON NSR 2005I8A bietet eine Vielzahl von Funktionen, um die Leistung und Produktivität von Photolithographie-Prozessen zu verbessern. Es arbeitet mit einer maximalen Geschwindigkeit von vierhundertundachtzig (482) Wafern pro Stunde und liefert eine hohe Genauigkeit mit einer Auflösung von bis zu 0,33 Mikron und einer Overlay-Genauigkeit von vier Prozent (4%). Der Stepper verwendet eine bifokale Ausrichtvorrichtung mit zwei Präzisionsausrichtungszielen und einem proprietären Bild-Daten-Präzessionssystem für verbesserte Genauigkeitsraten. NSR-2005I8A verfügt über eine optische Einheit mit einer maximalen numerischen Apertur von 0,55 und einem Felddurchmesser von vierhundertsechsundfünfzig (456) Millimetern, was eine breite Palette von Belichtungshöhen und Verarbeitungsarchitekturen ermöglicht. Diese Maschine bietet auch ein optisches katoptrisches Design mit einer effektiven numerischen Apertur von 0,63 für eine reine Laservorausrichtung von Masken. Der Stepper verfügt über einen Mikrometerarm, der eine schnelle und effiziente Wafermontage und Inspektion ermöglicht. Es ist mit einem aktiven Scannermechanismus ausgestattet, der ein reibungsloses und schnelles Scannen von Proben ermöglicht, die eine maximale Probengröße von bis zu 6,3 "im Durchmesser verarbeiten können. Der Stepper verfügt außerdem über eine integrierte Sauberkeitsabbildungsroutine, mit der Benutzer ihre Proben auf Kontaminationen überprüfen können. Darüber hinaus verfügt NSR 2005 i8A über anspruchsvolle Funktionen wie den einstufigen Schreibmodus und ein patentiertes automatisches Maske-zu-Maske-Ausrichtungswerkzeug. NIKON NSR-2005 I8A ist mit einer Vielzahl von Chemikalien und Widerständen kompatibel und bietet Anwendern eine breite Palette von Optionen. Es wird von einem High-End-Software-Asset angetrieben, das eine einfach zu bedienende grafische Benutzeroberfläche bietet. Darüber hinaus bietet dieses Modell mehrere Optionen für die Rezepterstellung, die es Anwendern ermöglichen, optimierte Photolithographie-Rezepte für ihre jeweilige Anwendung zu erstellen. Insgesamt ist NIKON NSR 2005 I 8 A ein hocheffizienter und zuverlässiger Stepper für photolithographische Anwendungen. Es bietet eine breite Palette von Funktionen und ein hohes Maß an Genauigkeit und Effizienz, so dass es eine ideale Wahl für eine Vielzahl von Photolithographie-Prozessen.
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