Gebraucht NIKON NSR 2005 i9C #293605792 zu verkaufen
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ID: 293605792
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1995
Stepper, 8"
Notch wafer type
Wafer loader type I
Wafer exposure
Wafer transfer
Left and right carriers loading
High and low pressure: 8 kgf/cm²
Reticle loader:
Mask size, 6"
Reticle library: 33 mm
Reticle stage:
RA Microscope
Position: 22 mm
FIA
LSA
Monitor
Interferometer type: 5517 B
1995 vintage.
NIKON NSR 2005 i9C ist ein in der Photolithographie verwendeter Waferstepper, der Prozess der Übertragung eines Musters von einer Maske auf ein Substrat zur Herstellung integrierter Schaltungen. Diese Ausrüstung umfasst alle für die Lithographie benötigten Komponenten und zeichnet sich durch hohe Präzision, Vielseitigkeit und Geschwindigkeit aus. Der i9C verwendet fortschrittliche Schrittoptiken, minimierte Ablenkungen und astigmatische Aberrationen sowie überlegene Muster. Das System ist mit einer variablen Strahlfleckgröße (Variable Beam Spot Size, VBSS) ausgestattet, die eine Reihe von Strahlfleckgrößen von 0,6 bis 5 µm Durchmesser ermöglicht und den Benutzern die Flexibilität bietet, die besten Einstellungen für jedes Muster zu verwenden. Neben der patentierten Scantechnologie ist NIKON NSR2005I9C mit einzigartigen und vielseitigen Cassette Changer Systemen (CCS) ausgestattet. Das CCS ist vollautomatisiert und besteht aus einem Neun-Schacht-Kassettenhalter und zwei Klingengestellen mit automatischer Klingenübertragungsfähigkeit. Mit dieser Einheit können Benutzer für verschiedene Teiletypen schnell wechseln und anpassen. Die mit dem i9C erzeugten exponierten Muster weisen eine geringe Restverzerrung und eine geringe Zackigkeit auf. Die Maschine verwendet NIKON proprietäre automatische Verzerrungskorrektur (ADC), um Verzerrungen bei jeder Exposition zu erkennen und zu korrigieren, Fehler zu reduzieren und die Musterqualität maximal zu verbessern. Darüber hinaus liefert das i9C hochgenaue und wiederholbare Ergebnisse, so dass Benutzer Komponenten zuverlässig in der Massenfertigung herstellen können. Das Werkzeug verwendet eine Präzisionsausrichtungsüberwachung, die die Position und Neigung der Bühne während des gesamten Bewegungsprozesses kontinuierlich überwacht. Dies sorgt für eine hervorragende Teileposition und stabile Schüsse. NSR-2005I9C Wafer Stepper verfügt über eine breite Palette von Funktionen, die es zu einer idealen Wahl für die Herstellung von ertragreichen, hochwertigen Mustern für die Herstellung integrierter Schaltungen machen. Mit seiner fortschrittlichen Optik, CCS und ADC ermöglicht es Anwendern die einfache Übertragung einer Vielzahl von Mustern mit höchster Präzision und Wiederholbarkeit und minimaler Verzerrung.
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