Gebraucht NIKON NSR 2005 i9C #9242188 zu verkaufen

NIKON NSR 2005 i9C ist ein hochpräziser Vollfeld-Wafer-Stepper, der die Ausbeute verbessert und die Herstellungskosten von Halbleiterbauelementen senkt. Diese Maschine ist das Modell, das der NSR-2005i8C folgt, und bietet verbesserte Leistung und Effizienz durch verbesserte optische und verarbeitende Komponenten. NIKON NSR2005I9C wurde entwickelt, um mit einem 1:00 gammabeschichteten Linsenstepper zu arbeiten, der im Vergleich zu anderen nicht 1:00 Linsen das Auftreten von Flare und Geist reduziert. Dadurch ist der Stepper in der Lage, High-One-Pitch-Muster mit ultrascharfer Abbildungsqualität zu erzeugen. Die Maschine verfügt über eine verbesserte Wafer-Ausrichtungsausrüstung (WASL), die einen hohen Durchsatz ermöglicht und eine präzise Ausrichtung gewährleistet, um die Prozessreproduzierbarkeit zu erhöhen und den Losausfall zu reduzieren. Das WASL-System misst Ausrichtungsfehler an der Wafer-Peripherie und ermöglicht eine Reduzierung der Fokusverschiebung entlang des gesamten Feldes. Das i9C hat ebenfalls eine variable Auflösungsfähigkeit, die es ermöglicht, präzise Mustergrößen zu reproduzieren, mit der Fähigkeit, zwischen 4X (1-Mikron-Auflösung) und 10X (0,25-Mikron-Auflösung) Auflösung auf Wafer-Ebene zu wechseln. Dadurch wird die Mustergeometrie korrekt eingehalten und die Wafergrößenreichweite erhöht. NSR-2005I9C verfügt über eine integrierte dynamische Fokuseinheit, die die Fokusverschiebung auf lange Felder und hohe Vergrößerungsschritte sowie Fokusüberläufe kompensiert, um eine hohe Profilgenauigkeit und hohe Tonhöhenmusterfähigkeit zu gewährleisten. Der dynamische Fokus reduziert auch den thermischen und Mikro-Ofen-Effekt, da die Fokusposition bei jedem globalen Schritt aktiv überwacht und angepasst wird. Das i9C bietet auch eine verbesserte Beleuchtungsmaschine, die typischerweise 2 µm Linienbreite Muster mit konventionellen Trockenätzresist liefert, und eine starke und flexible Kompression von 1X Binarized Pixel Distribution (BPD). Das verbesserte Beleuchtungswerkzeug zeigt auch eine Nahfeldeffektreduktion, die einen besseren Musterkontrast liefert. NIKON NSR 2005I9C verfügt auch über mechanische und Umweltstabilität, die unerwartete Ausfälle, Defekte und Ertragseinbußen in der Produktion zu reduzieren hilft. Prozesssteuerungs- und Analysesoftware-Suites auf der Maschine sorgen für eine optimale Ausnutzung der Fähigkeiten des i9C und bieten Bedienern Echtzeitinformationen. Insgesamt ist NIKON NSR-2005I9C ein Präzisions-Wafer-Stepper mit fortschrittlicher Abbildungsoptik und ausgeklügelter Prozesssteuerung, der verbesserte Erträge und Kosteneffizienz in der Halbleiterherstellung bietet.