Gebraucht NIKON NSR 204B #9137591 zu verkaufen

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NIKON NSR 204B
Verkauft
Hersteller
NIKON
Modell
NSR 204B
ID: 9137591
Scanners.
NIKON NSR 204B ist ein fortschrittlicher Wafer-Stepper, der in der Halbleiterherstellung für die Bildgebung von Wafern verwendet wird. Es arbeitet als eine Stufen- und Wiederholungseinrichtung, die in der Lage ist, Muster von einem Retikel auf einen Photoresist auf einem Wafer in einer einzigen Belichtung zu übertragen. NIKON NSR-204B verfügt über mehrere Designvorteile, die Ausbeute und Fahreffizienz verbessern und eignet sich sowohl für Geräteprototyping als auch für Produktionsanwendungen. Das System verwendet einen CCD-Zeilensensor als Bilddetektor und ist in der Lage, eine Submikron-Platzierungsgenauigkeit zu erreichen. Dadurch eignet es sich für Anwendungen mit hoher Dichte und Speichergeräten, bei denen eine genaue Positionierung erforderlich ist. Die Maschine verfügt zudem über eine große Fokustiefe für eine ideale Bildabdeckung. Es hat eine hohe optische Bandbreite, um Platzierungsfehler zu minimieren, sowie eine aktive Ausrichteinheit, um sicherzustellen, dass der optische Weg optimiert ist. Der NSR 204 ist außerdem mit einer NIKON Actively Controlled Immersion (ACI) Maschine ausgerüstet, die automatisch Linsentauchparameter optimiert, um Auflösung und Fokustiefe zu verbessern. Dadurch wird sichergestellt, dass Bilder auch dann im Fokus bleiben, wenn Bilder über einen ausgerichteten Wafer aufgenommen werden. NSR 204B verfügt über ein automatisiertes Wafer-Handling-Tool, das einen APC-Mechanismus enthält, der die Ausrichtungsmarkierung basierend auf der Größe und Form des Wafers automatisch einstellen kann. Darüber hinaus ist es so konzipiert, dass Wafer-zu-Wafer-Leistung ohne manuelle Ausrichtung zu ermöglichen, so dass es für die Produktion von großvolumigen Halbleitern geeignet ist. Darüber hinaus ist NSR-204B mit integrierten Prozessüberwachungswerkzeugen ausgestattet, die Schwankungen in der Widerstandsdicke und -temperatur sowie Wafer-Durchhang und Vibrationen erkennen können. Dadurch wird sichergestellt, dass fehlerhafte Wafer vor der Herstellung erkannt werden, um kostspielige Nacharbeiten oder Abfälle zu vermeiden. Insgesamt ist NIKON NSR 204B ein hochentwickelter und zuverlässiger Wafer-Stepper, der für verschiedene Serienanwendungen geeignet ist. Die präzise kalibrierte Optik, die automatisierte Ausrichtung und Handhabung sowie die integrierte Prozessüberwachung machen es ideal für die Herstellung fortschrittlicher mikroelektronischer Geräte.
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