Gebraucht NIKON NSR 2205 EX12B #293589625 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
NIKON NSR 2205 EX12B ist ein fortschrittliches Schrittmodell, das speziell für die hochpräzise Waferbearbeitung entwickelt wurde. Es bietet mehrere Vorteile gegenüber herkömmlichen Steppern, wie höhere Durchsätze, verbesserte Genauigkeit und geringere Wartungsanforderungen. NIKON NSR-2205EX12B verfügt über eine leistungsstarke zweistufige motorisierte Z-Achsen-Antriebsausrüstung, die einen reibungslosen Betrieb ermöglicht und eine präzise Bühnenbewegung ermöglicht. Das Antriebssystem der ersten Stufe wird durch manuell einstellbare Rangierungen unterstützt. Die Antriebseinheit der zweiten Stufe enthält einen integrierten Resolver, der geräuscharmen und vibrationsarmen Betrieb auch bei hohen Geschwindigkeiten ermöglicht. Dies ermöglicht genaue und wiederholbare Scans über große Bereiche des Wafers ohne Drift. Darüber hinaus verfügt der Stepper über ein Field Emission Scanning Electron Microscope (FESEM) mit integrierter CCD-Kamera. Dies ermöglicht eine hochauflösende Abbildung von Probenoberflächen, die eine genauere Erkennung subtiler Anomalien ermöglicht. Das FESEM kann auch zur In-situ-Manipulation von Strukturen auf der Waferoberfläche verwendet werden. Dies ist nützlich, um Rückstände zu entfernen, Belichtungsparameter anzupassen und die Verarbeitungsbedingungen während der Exposition zu kontrollieren. Darüber hinaus umfasst der Stepper einen Belichtungsregistrierungsmechanismus zur hochpräzisen Waferausrichtung. Dies ermöglicht eine hochgenaue Registrierung von Wafermustern und ist in der Lage, lokale fiducial Fehlstellungen schnell zu kompensieren. Diese Maschine verfügt auch über eine integrierte automatische Kalibrierroutine, die den Fokus schnell anpasst, um eine korrekte Ausrichtung zu gewährleisten. Der Stepper beinhaltet auch eine automatisierte Stufenausrichtungsfunktion, die eventuelle Fehlstellungen während der Belichtung korrigiert. NSR-2205 EX12B ist ein fortschrittlicher Stepper, der den Durchsatz, die Genauigkeit und die Wartungsanforderungen für die Waferbearbeitung verbessert. Es verwendet ein leistungsstarkes Dual-Level-Drive-Tool für reibungslose Bewegung ohne Drift und FESEM für hochauflösende Bildgebung und In-situ-Manipulation von Wafer-Mustern. Darüber hinaus umfasst der Stepper automatische Kalibrierung und automatische Bühnenausrichtungsfunktionen, um Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu gewährleisten. Alle diese Funktionen machen NSR 2205EX 12B zu einer idealen Wahl für diejenigen, die einen hochpräzisen und zuverlässigen Wafer-Stepper suchen.
Es liegen noch keine Bewertungen vor