Gebraucht NIKON NSR 2205 EX12B #9207018 zu verkaufen
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ID: 9207018
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1997
Stepper, 8"
Temperature range: 23°C
Chamber type: N2M-A
NA Variable system
Reticle size: 6" (Normal)
Reticle microscope: Fix
Maximum field size: 22 mm
PPD
Reticle barcode reader
No reticle SMIF
No R-library
Reticle case: 6"
Wafer type: Notch
Pre alignment 2
Wafer loader: Type 3
Chip leveling
In-line (Right)
Wafer carrier table: Left, Right
Alignment sensor: LSA, FIA
Rack type: Normal (Left)
Body OP ruck cable: 3 m (Normal)
No wafer edge exposure
Laser type: CYMER ELS-5400 Laser
Laser position: Same flor
No signal tower
1997 vintage.
NIKON NSR 2205 EX12B ist ein hochpräziser Vollfeld-Wafer-Stepper für anspruchsvolle Photolithographie-Anwendungen. Es wurde entwickelt, um eine hervorragende Bildgebungsleistung zu bieten und die Anzahl der Photolithographie-Prozessschritte zu reduzieren, die für die Übertragung eines Schaltungsdesigns in einen Wafer erforderlich sind. NIKON NSR-2205EX12B verwendet ein 63X High-NA-Objektiv und verfügt über eine Bildfelddrehfähigkeit, die es ermöglicht, mit verschiedenen Mustertypen zu arbeiten. Es arbeitet in einem Step-and-Scan-Modus, der eine größere Flexibilität im Layout-Design und die Möglichkeit ermöglicht, größere Oberflächenbereiche mit größerer Auflösung abzudecken. Ausgestattet mit einem langlebigen Verschluss und einem High-End-Laserdiodengerät, bietet NSR-2205 EX12B eine hohe Wiederholbarkeit und Zuverlässigkeit. Die Genauigkeit von Musterübertragungen wird ebenfalls verbessert, wodurch qualitativ hochwertigere Geräte hergestellt werden können. NSR 2205EX 12B hat einen hohen Durchsatz und kann Geschwindigkeiten von bis zu 400WSPM erreichen. Es ist hochflexibel und kann eine Vielzahl von Substraten aufnehmen, darunter Silizium, Quarz, Glas, Metall und Polymere sowie verschiedene Schaltungsdesigns. Der Stepper ist so konzipiert, dass er mit allen NIKON-Systemen kompatibel ist. NIKON NSR-2205 EX 12 B ist mit zahlreichen Features ausgestattet, darunter ein Autofokus- und Auto-Alignment-Feature, ein Werkzeug-Attachment, ein integriertes Lithographie- und Resist-Inspektionssystem, die Fähigkeit zum digitalen Vergrößern oder Herauszoomen, ein Vor-Ort-Fokus und eine mehrachsige Heizeinheit. Die i-Line Beleuchtungsmaschine von NIKON NSR-2205 EX12B bietet Weitfeldbeleuchtung, die lichtbedingte Defekte reduziert. Der Stepper hat auch ein eigenes Rohr mit einem Quarzfenster und eine Werteübertragungsstufe, die Verschmutzungen verhindern. Um genaues Arbeiten zu gewährleisten, ist NSR 2205 EX12B mit einem hochpräzisen optischen Projektionswerkzeug ausgelegt. Es verwendet eine Hochgeschwindigkeits-X-Y-Stufe mit einer Linearität von 0,1 Mikron und einer bemerkenswerten Wiederholbarkeit von 0,5 Mikron. NSR-2205 EX 12 B ist ein zuverlässiger und leistungsstarker Wafer-Stepper, der eine Kombination aus Effizienz, Genauigkeit, Flexibilität und Leistung bietet. Es eignet sich für fortgeschrittene Photolithographie-Anwendungen und kann verwendet werden, um hochgenaue Komponenten und Produkte zu erstellen.
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