Gebraucht NIKON NSR 2205 EX12B #9379641 zu verkaufen
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NIKON NSR 2205 EX12B ist ein hochmoderner Wafer-Stepper, der von Halbleiterherstellern verwendet wird. Es verfügt über eine einzigartige Unified Indexing Ausrüstung, bidirektionale Ausrichtung und erweiterte Ultra-Präzisionssteuerung. Das EX12B wurde entwickelt, um den Anforderungen der anspruchsvollsten Geräteherstellungsanwendungen gerecht zu werden. Das System verwendet ein vielseitiges Verfahren des Wafertransports auf der Basis eines entworfenen Trägers, der den Waferaustausch, die Lagerung und die automatisierte Werkzeugsteuerung vereinfacht. Diese einheitliche Indexiereinheit ermöglicht die genaue Positionierung des Wafers an einer exakten Stelle bis zu einer Auflösung von einem Mikron über einen Bereich von Positionen. Dadurch kann die Optik der Maschine mehrere Schichten mit einer einzigen Einstellung zuverlässig verarbeiten. Das bidirektionale Ausrichtwerkzeug ermöglicht eine echte nicht stochastische Musterplatzierung und passt sich flexibel an komplexe Konstruktionsvarianten an. Das Optikpaket von NIKON NSR-2205EX12B besteht aus vier Laserstrahlen zur Bearbeitung und Ausrichtung. Die Laser bieten eine Genauigkeit von bis zu vier Mikrometern, auch bei hohen Vergrößerungen, was eine präzise Platzierung und Überlagerung gewährleistet. Das Asset verfügt auch über zwei Mikrobeugungslinsen, die die Auflösung auf Sub-Mikron-Ebenen verbessern. Das Modell wird von einem einzigartigen Ultra-Präzisions-Controller angetrieben, der auf mehrere numerische Rezepte programmiert werden kann. Der Regler berechnet genau den Weg der Laserstrahlen, um die höchste Platzierungsgenauigkeit zu erhalten. Dieser fortschrittliche Controller verbessert erheblich die Fähigkeit der Ausrüstung, um die Ausbeute des Geräts zu erreichen. Zusätzlich zu den Präzisionsreglern verfügt das System über mehrere Funktionen, die eine weitere Steuerung und Überwachung bieten. Dazu gehören ein Echtzeit-Prozessmonitor, eine Fehlererkennungseinheit und eine Wärmeausgleichsmaschine. Das laserbasierte Fehlererkennungswerkzeug bietet eine entscheidende lebenslange Wartungslösung zur Vermeidung von Geräteverunreinigungen. Schließlich ist die Anlage für die anspruchsvollsten Halbleiterherstellungsumgebungen konzipiert. Es ist inhärent staubbeständig, kann hohe Betriebstemperatur aufrechterhalten und besitzt niedrige Vibrationen für enge Überlagerung und Auflösung. Mit NSR-2205 EX12B können immer schrumpfende Gerätegrößen sicher auf den anspruchsvollsten Geräten verarbeitet werden.
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