Gebraucht NIKON NSR 2205 i11D #9213593 zu verkaufen

NIKON NSR 2205 i11D ist ein hochpräziser Wafer-Stepper der neuesten Generation mit einer Multifeld-Bearbeitungsfunktion für die modernste Halbleiterlithographie. Es hat eine maximale Auflösung von 0,17 μ m und einen marktführenden Wert von 12.000 Wafern pro Stunde (WPH) Durchsatz. Es bietet die ultimative Zykluszeitleistung, liefert Bilder höherer Qualität und mehr Flexibilität. Die Funktionen der Ausrüstung umfassen Stufengenauigkeit von 19nm, Auto-Fokus-Spot-Größe Steuerung Fähigkeit, Off-Axis-Beleuchtung, Anti-Reflexionsbeschichtung, Polarisationssteuerung, Multi-Field-Nähen, und ein leistungsfähiger genetischer Algorithmus für Auto-Auflösung Optim. Es hat auch einen neuen benutzerfreundlichen Touchscreen-Monitor, der eine Vielzahl von Online-Systemanpassungen ermöglicht. Der Stepper bietet eine breite Palette von Belichtungsoptionen, sowohl von links nach rechts als auch von rechts nach links, sodass die Einheit für Einzelschicht-, Doppelschicht- und Mehrschichtbelichtungen verwendet werden kann. Es beherbergt auch größere Substratgrößen von bis zu 200mm, mit einer Ebenheit Genauigkeit besser als 3 μ m über das gesamte Substrat. Die Maschine unterstützt auch eine breite Palette von Beleuchtungs- und Abschirmungsquellen, darunter eine On-Axis-Quelle, Off-Axis-Quelle und sieben Laminierungsquellen. Das Werkzeug besteht aus hochpräzisen Komponenten und wird aus einer Vakuumplattform gefertigt und mit einer hohen Siliciumdioxid-Nanogel-Isolierung stabilisiert. NIKON NSR-2205I11D ist sehr zuverlässig und zuverlässig für eine lange Lebensdauer. Es ist auch sehr effizient, da es seine Genauigkeit und WPH beim Betrieb in einem breiteren Temperaturbereich beibehält. Darüber hinaus verfügt es über ein wartungsarmes Design, das 45% weniger Strom verbraucht als frühere Modelle und nur alle zwei Jahre oder 50.000 Expositionen regelmäßig gewartet werden muss. Insgesamt ist NSR 2205I11D Wafer Stepper eine zuverlässige, leistungsstarke und effiziente Maschine, die in der Lage ist, die qualitativ hochwertigsten Lithographiebilder in der Branche zu produzieren. Es ist ein ideales Werkzeug für Halbleiterhersteller, die maximale Leistung und Genauigkeit in ihren Lithographieprozessen verlangen.