Gebraucht NIKON NSR 2205 i11D #9276272 zu verkaufen
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ID: 9276272
Wafergröße: 8"
Stepper, 8"
Reticle, 6"
Notch, 8"
Loader type: Type 3 robot.
NIKON NSR 2205 i11D Wafer Stepper ist eine High-End-Mikrolithographie-Ausrüstung, die der wachsenden Nachfrage nach komplexeren, miniaturisierten Teilen und Komponenten in der Elektronik- und Halbleiterindustrie gerecht wird. Mit fortschrittlicher Technologie und automatisierten Prozessen bietet NIKON NSR-2205I11D ein Höchstmaß an Präzision und Wafer-Gleichmäßigkeit. NSR 2205I11D wurde entwickelt, um eine genaue und wiederholbare Belichtung von Halbleiterscheiben mit hochmodernen Funktionen zu ermöglichen, die echte Ausrichtungs- und Videoüberlagerungsfunktionen, dreidimensionale (3D) Bildgebungssysteme, vollautomatisches Scan- und Spielmanagement und überlegene Luftbildstabilität umfassen. Das System umfasst auch zwei Waferstufen für erhöhte Durchsatzkapazität, eine einzigartige Auto-Stufe-Kompensationseinheit und eine hochauflösende digitale Steuerungsmaschine für wiederholt zuverlässige Belichtung. NIKON NSR-2205 I11 D kombiniert fortschrittliche Technologien wie die Kollisionserkennung zur Vermeidung übermäßiger Schichtdicken und anderer Materialfehler sowie Dose Management for Lithography (DML) zur Bestimmung der optimalen Belichtung für jede Schicht. Der voll funktionsfähige Data Acquisition Asset (DAS) des Tools bietet erweiterte Echtzeit-Bildregistrierungsanalysen, einschließlich vertikaler Ausrichtungs-Overlay- und Registrierungs-Analysefunktionen. NSR 2205 I11 D enthält auch eine Offline-Funktion, die Trendanalyse und Vergleichsgraphing von Waferprozessen über mehrere Wafer ermöglicht, wobei Daten lokal oder remote gespeichert werden. NSR-2205 I11D hat auch erweiterte Maskenklemm- und X/Y-Stufen für eine präzise, wiederholbare Belichtung von Maskenmustern integriert. Diese Funktion ermöglicht die korrekte Maskenregistrierung und korrekte Ausrichtung mit dem Wafer vor der Belichtung. Es ist auch für langlebige Präzisionsausrichtung ohne Maskenfehler und andere Materialfehler anwendbar. Das Modell verwendet die Feldeinheitlichkeitscharakterisierung für eine verbesserte Registrierungsgenauigkeit, um kritische Prozesse zu unterstützen. NIKON NSR-2205 I 11 D enthält außerdem eine schnelle, hochauflösende X/Y-Stufe für den Motorantrieb, um eine hochpräzise Waferausrichtung zu ermöglichen. Die fortschrittliche motorisierte Steuerungsausrüstung bietet bis zu 10nm Auflösung für eine präzise Ausrichtung und Positionierung von Schrittelementen. Darüber hinaus verfügt es über ein einstufiges Inspektionssystem, um kostspielige Wartezeiten für die Inspektion einzelner Merkmale und einen einstellbaren Belichtungszyklus für einen verbesserten Durchsatz zu vermeiden. Zusammenfassend ist NIKON NSR-2205 I11D ein modernster Wafer-Stepper, der höchste Präzision, Wiederholgenauigkeit und Genauigkeit für Projekte bietet, die kleinere Abmessungen, eine bessere Qualitätskontrolle und schnelle Durchlaufzeiten erfordern. Seine fortschrittliche Technologie, fortschrittliche Sensoren und automatisierte Prozesse sorgen für höchste Qualität und Zuverlässigkeit der Prozessergebnisse. Das Gerät bietet zudem hervorragende Funktionen für Bildgebung, Einheitlichkeit und Prozessmanagement und bietet ein wirklich hervorragendes Preis-Leistungs-Verhältnis.
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