Gebraucht NIKON NSR 2205 i12D #9263044 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9263044
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1997
i-Line stepper, 8"
Chamber type: ASAHI
Reticle size, 6"
Reticle microscope: Fixed
Maximum field size: 22 x 22
Extender library: Left to right
Reticle barcode reader
Reticle case, 6"
Reticle SMIF
Lens uniformity: 3.110%
Illumination average: 726.748 mW/cm2
Wafer chuck: Ring
Pre alignment 2: Notch, 8"
Wafer loader: Type 3
Chip leveling
Left in-line
Wafer carrier table: Left / Right
Alignment sensor: LSA / FIA
Normal rack type
SHRINC: Type 3
1997 vintage.
NIKON NSR 2205 i12D ist ein Hochleistungs-Wafer-Stepper, der für fortschrittliche Prozesse bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. Es ist eine hochmoderne Scanschrittausrüstung, die Auflösungen von bis zu 0,25 µm sowie eine hohe Geschwindigkeit und genaue Scanfähigkeit unterstützt. Der Wafer-Stepper wurde für den Einsatz mit den neuesten Lithographie-Werkzeugen wie Tauchlinsen entwickelt und ist mit einer Reihe modernster Technologien für eine zuverlässige und präzise Produktion konfiguriert. NIKON NSR-2205I12D wird von einem hochgenauen 12-Strahl-Lithographiesystem mit variabler Form (VSB) angetrieben. Dieses Gerät bietet eine verbesserte Präzision und variable Fokusregelung und bietet Stabilität und Zuverlässigkeit für anspruchsvolle Anwendungen. Die 12-Strahl-Konfiguration sorgt zudem für eine überlegene Photomasken-Fertigung, reduziert Verschmutzungen und sorgt für konsistente Treue zu fertigen Geräten. Der Stepper verfügt auch über die neueste aktive Ausrichtungs-Sensor- und Korrekturtechnologie, um höchste Ausrichtungsqualität und Overlay-Genauigkeit zu gewährleisten, wodurch die Variation von Gerät zu Gerät minimiert wird. Herzstück von NSR-2205I 12D ist eine leistungsstarke Steuerungsmaschine, die hoch konfigurierbar ist und ein breites Spektrum an Lithographie-, Bildgebungs-, Rechen- und Synchronisationsfunktionen bietet. Dieses Steuerwerkzeug automatisiert viele der notwendigen Prozesse, die bei der Geräteherstellung zum Einsatz kommen, wodurch eine langwierige manuelle Inspektion und Anpassung entfällt, die dazu beiträgt, Produktionsprozesse zu rationalisieren und letztlich Kosten zu senken. Die Advanced Leveling Stages (ALS) wurden speziell für NSR-2205I12D entwickelt, um einen schnellen und reibungslosen Betrieb des Stepper-Assets zu gewährleisten. Diese niedrige, zweischichtige, lufttragende Stufe ist extrem stabil und auf 1 µm Genauigkeit einstellbar. Das ALS-Modell ist einfach zu bedienen und ermöglicht es, viele magnetisch angetriebene Stufen für komplexe Bewegungen und Bewegungen miteinander zu verbinden. NSR 2205 I12 D verfügt auch über EI-Objektivtechnologie sowie reflektierende Bildgebung durch Charakterisierung (RIC), die die Notwendigkeit einer zusätzlichen Ausrichtung und Overlay-Verdrahtung eliminiert und die Genauigkeit im Vergleich zu herkömmlichen Linsensystemen verbessert. Der Wafer Stepper unterstützt auch eine breite Palette von fortschrittlichen Prozessen, einschließlich Maskenschreiben und Prozesskontrolle. Insgesamt ist NIKON NSR 2205 I12 D eine fortschrittliche Scanschrittausrüstung, die bahnbrechende Leistung und zuverlässige Herstellung bietet. Mit der Kombination aus modernster Technologie und leistungsstarker Steuerung ist der Stepper eine ausgezeichnete Wahl für jede hochmoderne Halbleiterbauelementherstellung.
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