Gebraucht NIKON NSR S202 #9299398 zu verkaufen

NIKON NSR S202 ist eine Präzisions-Lithographie-Ausrüstung, die eine hohe Genauigkeit bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen bietet. Es ist ein Zweifeld-Wafer-Stepper, der überlegene Optik und Bewegungssteuerung beinhaltet, um Bildtreue und geometrische Genauigkeit zu gewährleisten. Das System ist mit einem hochpräzisen, breitbandigen Galvo-Scan-Spiegel ausgestattet, der gleichzeitige Feldbelichtungen unter Beibehaltung der Bildauflösung während des Belichtungsprozesses bereitstellt. Das Off-Axis-Beleuchtungsdesign von NSR S202 kombiniert diffuse Beleuchtung und polarisierte Lichtsteuerung, um eine optimale Belichtungsgleichförmigkeit über die Schrittfeldgröße zu erreichen. Ein telezentrisches Zoomobjektiv wird verwendet, um eine flache Fokusebene über eine größere Größe des Halbleiterbauelementes ohne Zoomfehler oder Aberrationen aufrechtzuerhalten. Die fortschrittliche Bewegungseinheit NIKON NSR S202 bietet eine Vielzahl von Scanmodi, darunter 5 × 5, 4 × 4 und 3 × 3 Feldgrößen, sowie eine feine Einstellung der Geschwindigkeiten und Beschleunigung zur präzisen Steuerung. Seine präzise Ausrichtmaschine sorgt für Ausrichtgenauigkeit und Wiederholbarkeit, und die Linse-zu-Wafer-Höhe und Positionskontrolle werden durch eine hochpräzise XY-Rasterstufe eingestellt. NSR S202 umfasst eine Reihe von Prozesssteuerungsfunktionen, um eine wiederholbare und fehlerfreie Verarbeitung zu gewährleisten. Es ist mit NIKON patentiertem Fotoüberwachungs-Tool ausgestattet, das eine direkte Musterbeobachtung während des Schrittbelichtungsprozesses bietet, und automatische Fehlererkennungs- und Korrekturfunktionen werden von NIKON ZyGo Sensor Prozesssteuerungs-Toolset zur Verfügung gestellt. Darüber hinaus verfügt NIKON NSR S202 über eine Dual-Wellenlängen-Lasermarkenerkennung, die eine Fehlerregistrierung und -prüfung ermöglicht. Sein fortschrittliches Abfallmanagement-Modell wurde entwickelt, um die Kontamination von Wafern zu minimieren, indem Trümmer in einem leicht zugänglichen Fach gesammelt werden. Insgesamt ist NSR S202 ein fortschrittlicher Zweifeld-Wafer-Stepper, der eine Kombination aus überlegener Optik, Bewegungssteuerung und Prozesssteuerung bietet, um die höchste Leistung von genauen und fehlerfreien Halbleiterbauelementen zu gewährleisten.