Gebraucht NIKON NSR S306 #9229321 zu verkaufen

NIKON NSR S306
Hersteller
NIKON
Modell
NSR S306
ID: 9229321
Wafergröße: 8"
Scanner, 8".
NIKON NSR S306 ist eine hochpräzise bildgebende Ausrüstung von NIKON. Dieses Wafer-Stufensystem bietet fortschrittliche Technologien, hochmoderne Leistung und eine breite Palette von Funktionen für die Halbleiter- und MEMS-Industrie. NSR- S306 ist in der Lage, Gyrationen, Kontaktlöcher, Kantenbilder und Retikel bis zu 15 µm abzubilden. Dieses Gerät ist für vielseitige Produktionsumgebungen konzipiert und ermöglicht ein schnelles Umschalten zwischen verschiedenen Aufträgen ohne aufwendige mechanische Rüstzeiten. Seine benutzerfreundliche Oberfläche und umfassende Software-Suite bedeutet, dass es leicht zu erlernen und zu bedienen, so dass es eine lohnende Investition für Anwendungen, die hochwertige Bildgebung erfordern. Neben hochauflösenden Ergebnissen ist NIKON NSR S306 auch in der Bereitstellung von Schicht-zu-Schicht und Matrize-zu-Form-Ausrichtung kompetent. Diese Maschine ist auch mit der Bilderkennungstechnologie ausgestattet, die eine automatische optische Einstellung ermöglicht und eine genaue Ausrichtung ermöglicht. NSR S306 ist auch eine sichere Umgebung für die Durchführung von Belichtungen aufgrund seines eingebauten Werkzeugs aus Schwarzlichtfilter und automatischem Verschlusstor. Dadurch wird eine unnötige Bestrahlung mit ultravioletter Strahlung oder sichtbarem Licht verhindert, was empfindliche Wafer während der Bildgebung schädigen kann. Das Auto-Shutter-Gate-Feature überbrückt auch die Lücke zwischen Belichtungs- und Entwicklungsprozess, was bedeutet, dass die Belichtung des Lasers minimiert wird, wodurch die Qualität belichteter Bilder verbessert wird. Die Anlage verfügt außerdem über einen Hochleistungs-SIRIUS-Feldgenerator, der über eine Reihe von ± 45 ° Stabklemmverstellbaren Neigungen für eine Vielzahl von Bildaufträgen verfügt. Der SIRIUS Feldgenerator verfügt über ein in ihn integriertes Thermodeckmodell, das auch unter strengen Bedingungen Verzerrungen aus dem Stepper beseitigt. NIKON NSR S306 verfügt zudem über einen fortschrittlichen SEIKI-Zentriermechanismus zur hochpräzisen Ausrichtung. Mit dieser Ausrüstung wird eine driftfreie Bildausrichtung ermöglicht, ohne die Positionsgenauigkeit des Wafers zu beeinträchtigen. Darüber hinaus fokussiert NIKON Scanning Mirror den Projektionsstrahl auf das Retikel, was zu einer geringeren Punktgröße und damit höheren Bildauflösung führt. Insgesamt ist NSR S306 ein fortschrittlicher Wafer-Stepper, der für eine qualitativ hochwertige Bildgebung von Einzel-/Mehrschichtwafern entwickelt und hergestellt wurde. Es verfügt über eine Reihe von leistungsstarken Funktionen, wie fortschrittliche Bilderkennungstechnologien, automatisches Verschlusstor, SIRIUS-Feldgenerator und SEIKI-Automatikzentriermechanismus, um Pin-Point-Genauigkeit und Zuverlässigkeit zu bieten.
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