Gebraucht NIKON NSR S306C #9379645 zu verkaufen
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ID: 9379645
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2003
Scanner, 8"
Main system: MCSV
Operating system: Open VMS / Windows NT / Linux
Hard Disk Drive (HDD)
Floppy Disk Drive (FDD) / CD Drive
PPD
Unit system:
Wafer stage: Air
Chuck type: Pin chuck, 8"
Reticle alignment: SRA, VRA
Wafer alignment: LSA, FIA
BMU: Normal type
KRF Laser: CYMER Laser 7401
Auto focus: Multi
Chamber type: Sendai
Model no: S37
Wafer loader:
Loader type: Type 4
Wafer type: Notch
Flat zone position: 6 o'clock
In-Line: Left
Cassette: Right
Control rack position: Left
Reticle loader:
Reticle size, 6"
Library: 20-Slots
Bar code system:
No case
Reticle
2003 vintage.
NIKON NSR S306C ist ein Hochleistungs-Wafer-Stepper für die Photolithographie in Halbleiterherstellungsprozessen. Es verwendet fortschrittliche Optik und hochpräzise Bewegungssteuerungssysteme zur genauen Ausrichtung eines Wafers, um verschiedene Schaltungspegel auf die Oberfläche zu strukturieren. NIKON NSR-S306C 's 6 "round base production wafer besteht aus zwei unabhängigen Sensorköpfen, die einen höheren Durchsatz und mehr Flexibilität ermöglichen. Der Wafer-Stepper ist in der Lage, mehrere verschiedene Ebenen zu inspizieren, einschließlich Resist- und Bodenschichten, sowie die Inspektion von Schnitten und Haftschichten. Zusätzlich kann die Ausrüstung Scan-Vergrößerungen von 10x und 20x durchführen. NSR S306C verfügt über ein Hochgeschwindigkeits-Autofokus-System, das eine Flüssigkeitslinse zur schnellen und genauen Ausrichtung verwendet. Darüber hinaus verfügt der Stepper über einen 12-Stationen-Objektivwechsler mit optimierten Algorithmen für automatischen Objektivwechsel und Waferbelastung. Diese Einheit ermöglicht das Hochgeschwindigkeits-Scannen und verkürzt die Zykluszeiten des Produktionsprozesses. NSR-S306C verfügt auch über fortschrittliche Lichtquellen, die eine optimale Belichtung für fortgeschrittene Musterprozesse ermöglichen. Der einstellbare Belichtungspegel sorgt für eine höhere Genauigkeit und eine verbesserte Abdeckung in verschiedenen Belichtungszonen. NIKON NSR S306C verfügt auch über erweiterte Datenerfassungs- und Steuerungssysteme. Dies ermöglicht eine automatische Belichtungstage und Ergebnisprotokollierung zur Optimierung des Belichtungsprozesses. In Bezug auf die Wartung verfügt die Maschine über ein einfach zu bedienendes automatisiertes Wartungstool mit eingebauten Testmustern, die Ausfallzeiten minimieren und die Lebensdauer des Wafer-Steppers verlängern. Darüber hinaus ist NIKON NSR-S306C auch ein umweltfreundliches Gut, da sein geringer Stromverbrauch dazu beiträgt, CO2 und andere Emissionen zu reduzieren. Insgesamt ist NSR S306C ein leistungsfähiger Wafer-Stepper, der hohe Genauigkeit und Durchsatz bietet und die Zykluszeiten des Modells reduziert und gleichzeitig die optimale Qualität des Prozesses beibehält. Seine fortschrittliche Optik, hochpräzise Bewegungssteuerungssysteme, Lichtquellen und Wartungsgeräte liefern ausgezeichnete Ergebnisse während der Halbleiterherstellung.
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