Gebraucht NIKON NSR SF200 #293636238 zu verkaufen
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NIKON NSR SF200 ist ein hochmoderner mehrstufiger, hochpräziser Waferstepper, der im Mikrolithographieverfahren der Halbleiterindustrie eingesetzt wird. Es ist mit Blick auf Skalierbarkeit konzipiert und bietet eine extrem genaue Belichtungssteuerung sowohl für die Musterausrichtung als auch für die Entwicklung. Mit einer Düsengröße von bis zu 12 Zoll und einer maximalen Wafergröße von 200 mm ist NIKON NSR SF 200 in der Lage, eine breite Palette von Substraten und Anwendungen zu handhaben, was es zu einer optimalen Wahl für die Serienproduktion macht. NSR SF200 verfügt über ein 4-stufiges Design für mehr Genauigkeit und Durchsatz und ist mit einem kombinierten Sicht- und Beleuchtungssystem für eine verbesserte Belichtungssteuerung und -ausrichtung ausgestattet. Dieses System nutzt zwei Einstellachsen für ein optimales Expositionsmanagement und bietet eine genaue Overlay-Ausrichtung und Transfermusterregistrierung. Weitere Funktionen sind das automatische Laden von Wafern, die automatische Nullpegelausrichtung und der Pass-Through-Autofokus. Der NSR SF 200 verfügt zudem über eine Stufenauflösung von 0,5 µm und ermöglicht eine extrem präzise Platzierung von Mustern auf Substraten aller Größen. Diese Funktion wird durch eine Bildauflösung von bis zu 0,12 mm weiter verbessert, so dass Benutzer höhere Genauigkeit und Wiederholbarkeit erzielen können. NIKON NSR SF200 eignet sich gleichermaßen für fortschrittliche Trocken- und Resistfilmprozesse. Es ist in der Lage, Materialien mit Belichtungsenergiepegeln von 145-312nm zu verarbeiten, so dass Benutzer die Belichtungsbeleuchtung automatisch an ihre Wahl der Belichtungs- und Resistmaterialien anpassen können. Darüber hinaus bietet NIKON NSR SF 200 auch Optionen für flüssiges Eintauchen und doppelte Seitenbelichtung, so dass es eine ideale Wahl für die Erfüllung der anspruchsvollsten Halbleiterentwicklungs- und Produktionsanforderungen ist. Um einen zuverlässigen Betrieb zu gewährleisten, verfügt NSR SF200 über robuste Software- und Hardwarekomponenten, die alle auf Lithographie-Plattformen der NIKON-Familie betrieben werden. Dazu gehören Verbesserungen der Extraktion und des Schutzes kritischer Komponenten, neueste Maskierungs- und Beleuchtungstechnologien sowie eine breite Palette benutzerfreundlicher Schnittstellenoptionen. Insgesamt ist NSR SF 200 ein hocheffizientes und zuverlässiges Werkzeug zur Herstellung einiger der zuverlässigsten und präzise hergestellten integrierten Schaltungen und Substrate in der Halbleiterherstellung. NIKON NSR SF200 ist mit seinem umfassenden Funktionsumfang und seinen High-End-Komponenten die erste Wahl für anwendungsspezifische Wafer-Stepper-Anforderungen.
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