Gebraucht NIKON S 207 #293660439 zu verkaufen
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NIKON S 207 Wafer Stepper ist ein vollautomatischer und High-End-Wafer-Stepper, der hochpräzise Ausrichtungsfähigkeit mit hohem Durchsatz und Wafer-zu-Wafer-Overlay-Genauigkeit kombiniert. Es ist eine voll programmierbare Ausrüstung mit einer Reihe von Modulen, die für Schrittprozesse verwendet werden können, einschließlich PEB, LPCVD, EPI und andere Inline-Techniken. Das System verfügt über ein großes Belichtungsfeld von 10,7 nm mal 10,8 nm, eine hohe numerische Apertur (NA) von 0,75 und eine hohe Schrittgeschwindigkeit von 300 Bildern pro Sekunde. Der Stepper weist zwei Belichtungsköpfe mit jeweils einer unabhängigen optischen Einheit auf, die für unterschiedliche Belichtungen und Wafertypen konfigurierbar sind. Die optischen Parameter können programmiert werden, um die bildgebende Maschine für die Belichtung an verschiedenen numerischen Öffnungen, Tiefenschärfe, Vergrößerung und Lithographiemustergröße zu optimieren. Das Ausrichtungsobjekt des Werkzeugs umfasst eine automatische Ausrichtungsoptik, ein großes Sichtfeld und eine Auflösung von Subnanometern für eine genaue und wiederholbare Ausrichtung kritischer Schichten. Das Modell verfügt zudem über eine integrierte lasergestützte Waferausrichtausrüstung für höchste Genauigkeit. NIKON S207 Wafer Stepper verfügt über ein umfassendes Bildverarbeitungssystem für erweiterte Photolithographie-Funktionen wie kleine Musternähte, Verzerrungskompensation, Farbtrennung und Hi-Q-Bildgebung. Das Gerät ermöglicht bis zu 3 Belichtungen pro Sekunde für einen hohen Durchsatz. Es unterstützt den vollständigen Austausch des Belichtungsfeldes zwischen Belichtungsköpfen, was eine hohe Redundanz und Nutzung teurer Wafer ermöglicht. S 207 Wafer Stepper verfügt auch über eine umfangreiche Musterbibliothek zum einfachen Einrichten von Musterparametern, die eine maximale Musterkontrolle für Benutzer bietet. Die benutzerfreundliche Oberfläche ist einfach zu bedienen und ermöglicht die Verwaltung verschiedener Schichten und Waferdefinitionen. Die Maschine ist ETTO-konform und erfüllt die höchsten Anforderungen an den Lithographieprozess. S207 Wafer Stepper bietet eines der umfassendsten Systeme für Präzisionslithographie, Bildgebung und Wafer-Qualitätskontrolle. Sein großes Belichtungsfeld, seine schnelle Geschwindigkeit und seine hohe Auflösung machen es zur idealen Lösung für die Produktion komplexer 3D-Displays, medizinischer Geräte, Halbleiter und anderer fortschrittlicher Anwendungen.
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