Gebraucht ADE / KLA / TENCOR 9500 UltraGage #186301 zu verkaufen

ADE/KLA/TENCOR 9500 UltraGage ist ein Wafer-Prüf- und Messtechnik-System, das entwickelt wurde, um fortschrittliche Qualitätskontrolle und Genauigkeit für die Halbleiterindustrie bereitzustellen. Das Gerät verfügt über ein optisches Mikroskop zur hochauflösenden Bildgebung und Merkmalserkennung sowie spektrale bildgebende Funktionen zur Quantifizierung der Maschinenleistung. Eine automatisierte Stufe ermöglicht schnelle, zerstörungsfreie Messungen verschiedener Wafertypen, einschließlich planarer und nicht planarer Anwendungen. Aktive Beleuchtungstechnologie ermöglicht dynamische Beleuchtung und schattenlose Betrachtung, was zu genauer Merkmalserkennung und automatisierter Ereigniserkennung führt. Das Tool ist mit einem integrierten Mikro-Fokus-Messgerät ausgestattet, das eine Genauigkeit von bis zu 5 µm über einen 4 "-Wafer bietet. Es enthält auch ein hochauflösendes berührungsloses Messmodell für statische, multiplexierte und wiederholte Messungen. Diese Ausrüstung ermöglicht die genaue Messung von Features und Baugruppen mit hohem Seitenverhältnis. Weitere Merkmale sind eine automatisierte Stufe zur schnellen Ausrichtung und Stufenbewegung, ein automatisiertes Scansystem zur wiederholten schnellen Prozessvalidierung, eine dynamische Datenanalyse zur schnellen Einheitenbewertung und kundenspezifische Workflows für bestimmte Anwendungen. Die UltraGage-Maschine ist zudem mit einem automatisierten Fehlerinspektionsmodul ausgestattet, das schnelle und zuverlässige Daten zur Waferqualität liefert. Dieses Modul enthält eine Reihe spezialisierter Algorithmen, die künstliche Intelligenz und maschinelle Lerntechniken nutzen, um Fehler zu erkennen, zu klassifizieren und zu melden. Das Werkzeug ist auch in der Lage, Inline-Konturabbildungen verschiedener Baugruppentypen mit hoher Genauigkeit abzubilden. Dies geschieht nahtlos und in Echtzeit und liefert detaillierte Einblicke in die Leistungsfähigkeit einzelner Komponenten während der gesamten Fertigung. All diese Funktionen ermöglichen es dem Asset, hochpräzise, kostengünstige Wafer-Tests und Messtechnik anzubieten. Das Modell ist auch konfigurierbar und unterstützt mehrere fortschrittliche Integrationstechniken, einschließlich Inline-Messungen, statistische Prozesssteuerung und Roboterschnittstellen. Diese Interoperabilität bietet ein hohes Maß an Flexibilität und Skalierbarkeit für ADE 9500 UltraGage-Geräte und ermöglicht eine breite Palette fortschrittlicher Halbleiteranwendungen.