Gebraucht EPIPLUS / ETAMAX Plato #9268807 zu verkaufen

EPIPLUS/ETAMAX Plato ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die entworfen wurde, um genaue Messungen kritischer Parameter von dünnschichtigen, lasergetasteten Materialien bereitzustellen. Es kombiniert Laser-Assist Messtechnik mit hochauflösender Bildgebung, um maximale Genauigkeit für Wafertests zu erreichen. Das System verfügt über zwei verschiedene Scanmodi: Laserscannen und Weitfeldbildgebung. Im Laser-Scan-Modus wird ein fein abgestimmter Laserstrahl auf einen kleinen Teil der Waferoberfläche fokussiert, um ein vollständiges und genaues Profil zu erzeugen. Diese Laserabtastung eignet sich besonders zur Inspektion von sehr feinen Strukturen wie Halbleitern, MEMS-Bauelementen, kleinen Merkmalen oder ultradünnen Schichten. Der Weitfeldabbildungsmodus ist weniger präzise als das Laserscannen, bietet jedoch eine höhere Auflösung und ermöglicht eine genaue Messung größerer Strukturen wie Flachbildschirme, geätzte Merkmale und strukturierte Topographie. Dieser Modus verwendet UV- und Infrarotkameras, um hochauflösende Bilder des Wafers aus verschiedenen Winkeln aufzunehmen. ETAMAX Plato-Einheit kann mit einer Vielzahl von Materialtypen und Substraten verwendet werden, einschließlich Vollwafer, Chips und mehrschichtige Substrate. Es verfügt über einen Vergrößerungsbereich von 2-100X und liefert präzise Messungen für eine Vielzahl von Parametern, wie Oberflächenrauhigkeit, Dotierstoffe, Topographie und Spektralreflexion. Die Maschine bietet auch fortschrittliche Software, einschließlich Mustererkennung, 3D-Bildgebung und erweiterte Datenanalysefunktionen. Die Software kann verwendet werden, um detaillierte Analyseberichte zu erstellen, die zur Verbesserung der Prozessausbeute verwendet werden können. Darüber hinaus ist das Werkzeug mit einer automatisierten Kantenerkennung ausgestattet, um unerwünschte Geräusche und Verzerrungen aus den Messungen zu vermeiden. Darüber hinaus umfasst EPIPLUS Plato auch ein integriertes Management-Asset, mit dem Benutzer die Ergebnisse von Tests an mehreren Testwafern verfolgen können. Dadurch lassen sich Qualitätskontrollprozesse im Laufe der Zeit leicht überwachen und verbessern. Insgesamt ist Plato ein leistungsstarkes Wafer-Test- und Messtechnik-Modell, das genaue und präzise Messungen für verschiedene Materialien und Substrate bereitstellt. Es bietet fortschrittliche Software und eine Reihe von Funktionen, die zur Verbesserung der Prozessausbeute und Qualitätskontrolle verwendet werden können.