Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #177831 zu verkaufen

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KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan
Verkauft
ID: 177831
Wafergröße: 6"
Inspection system, 6", parts system Specifications: Arm type: Single Defect sensitivity: 0.13 micron defect sensitivity @ 80% capture, based on PSL standards Repeatability: 0.5% at 1 standard deviation Accuracy: Accuracy within 1% Measurement range: 0.08um to 9999um Throughput: Up to 150 wafers per hour using 6" wafers Contamination: Less than 0.5 particles/cm squared greater than 0.15um diameter per single pass Laser power: 9.9~8A Missing some PCB parts.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan ist eine Wafertest- und Messtechnik-Ausrüstung zur Messung der Oberflächenparameter von Halbleiterscheiben. Dieses System nutzt eine hochauflösende reflektierende Bildgebung und fortschrittliche Messtechnik-Sensoren, um die atomaren und nanostrukturierten Eigenschaften der Waferoberfläche genau zu messen. Mit dieser Einheit können Benutzer einfach und schnell alle Arten von Oberflächenmerkmalen messen, wie z. B. die Rauheit der Kanten und atomare Schritte, sowie sie in der Tiefe analysieren. KLA 6200 Surfscan-Maschine integriert auch nicht-messtechnische Scan-Sonden, die eine Analyse von Defekten und Kontamination wie Piezopartikel oder lithographische Pinholes ermöglichen. Dieses Werkzeug ist entworfen, um Wafer bis zu 300mm Durchmesser zu messen, und es kann auch in einer UV-konfigurierbaren Umgebung betrieben werden, so dass es für fortgeschrittene Anwendungen geeignet ist, die UV-Beleuchtung erfordern. Darüber hinaus verfügt TENCOR 6200 Surfscan über ein Dual-Zone-Vision-Asset, das aus einem optischen Mikroskop und einem Vision-Modell besteht und detaillierte Messungen und Analysen kleiner Details ermöglicht, die sonst durch herkömmliche bildgebende Verfahren nicht sichtbar wären. PROMETRIX 6200 Surfscan ist zudem mit einer Stufen- und Reflektometriesoftware ausgestattet, die eine hochgenaue dreidimensionale und topographische Abbildung der Waferoberfläche ermöglicht. Dies ermöglicht eine detaillierte Analyse der Oberflächengleichförmigkeit und Mikrostrukturen auf atomarer Ebene sowie Nanostrukturen, die nicht mit anderen Techniken gemessen werden können. Darüber hinaus verfügt 6200 Surfscan über eine optomechanische Ausrüstung, die aus einem Opticalbench, einer Objektivlinse und einem Detektor besteht, die alle so konzipiert sind, dass sie jederzeit strukturelle Stabilität und Genauigkeit gewährleisten. Um das Beste aus diesem System zu machen, kann es mit anderen Geräten wie der Digitalkamera oder der Resist-Messsonde gekoppelt werden. Die Resistmeßsonde ermöglicht die Erfassung von Daten auf atomarer Ebene, mit denen dann hochgenaue elektrische Eigenschaften wie Kapazität oder Widerstand erzeugt werden können. Mit diesen Daten kann der Aufbau von Halbleiterchips und Bauelementen weiter verfeinert werden. Insgesamt ist KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan eine leistungsstarke, hochmoderne Wafertest- und Messtechnik-Einheit, die eine hochgenaue und detaillierte Analyse der Oberflächenparameter und elektrischen Eigenschaften von Halbleiterscheiben ermöglicht. Diese Maschine ist für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet, einschließlich Präzisionsmesstechnik, Konstruktionsoptimierung und Kontaminationsüberwachung.
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