Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #198584 zu verkaufen

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KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan
Verkauft
ID: 198584
Inspection system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan ist ein Wafertest- und Messtechniksystem, das von der Halbleiterindustrie verwendet wird, um die topographischen Merkmale auf einer Vielzahl von Substraten zu inspizieren, zu analysieren, zu messen und zu vergleichen. Dieses Gerät ermöglicht es Benutzern, die Ebenheit der Oberfläche von Wafern zu überwachen, und es kann verwendet werden, um Fehlerinspektionen, dielektrische Gleichförmigkeitstests, Ätztiefenmessungen und Messungen kritischer Abmessungen durchzuführen. KLA 6200 Surfscan ist eine vielseitige und zuverlässige Metrologie-Plattform, die auf der patentierten Multi-Station Programmed Gradiometry (MSPG) -Architektur der KLA basiert. Diese Architektur ermöglicht es der Maschine, Oberflächentopographiedaten während mehrerer Testzyklen mit zehn oder mehr separaten Oberflächenmesswerkzeugen genau zu messen und zu verfolgen. Die MSPG-Architektur ermöglicht zudem ein hochautomatisiertes, robustes Werkzeugdesign, das über lange Laufzeiten zuverlässige Leistung bietet. TENCOR 6200 Surfscan verfügt über einen Vier-Zoll-Probenmotor, der Wafer mit mehreren Geschwindigkeiten dreht, um sicherzustellen, dass Oberflächenmessdaten von allen Waferoberflächen erfasst werden. Es enthält auch hochgenaue Laser-Doppler-Interferometer, die Ebenheit mit einer Auflösung von besser als 0,2 Nanometer auf einem Drei-Fuß-Durchmesser-Probenbereich messen. Die automatisierte Wafer-Handhabung des Asset ermöglicht schnelle Muster-Substrat-Änderungen mit minimalen Ausfallzeiten, wodurch Testzeit und Arbeitskosten reduziert werden. Zusätzlich wird ein spezialisiertes Waferfutter verwendet, um sicherzustellen, dass die Probe während der Prüfung sicher gehalten wird. 6200 Surfscan kann sowohl 2D- als auch 3D-Oberflächentopographiemessungen durchführen, so dass Benutzer Schwankungen in Dielektrikum, Polarisation, Kapazität und Widerstand im Laufe der Zeit und von einem Test zum anderen erkennen können. Dieses Modell integriert auch fortschrittliche optische Messtechnologien wie Fraktographie und Interferenztechniken, um die Dimensionsgenauigkeit der 3D-Nanoskala zu messen. Schließlich können alle von PROMETRIX 6200 Surfscan erfassten Daten mittels TENCOR proprietärer InSpec Software auf einem Computer analysiert werden. Diese Software ermöglicht es Ingenieuren, die erfassten Daten in einer sicheren zentralen Datenbank zu speichern, Daten aus mehreren Läufen zu vergleichen und die Ergebnisse in dreidimensionalen Diagrammen zu visualisieren und zu analysieren. KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan ist eine zuverlässige und einfach zu bedienende Wafer-Prüf- und Messtechnik, die präzise und wiederholbare Messungen über eine Vielzahl von Substraten liefert. Seine fortschrittliche MSPG-Architektur und automatisierte Probenhandhabung minimiert Ausfallzeiten und Arbeit, und seine hochgenauen Laser-Doppler-Interferometer bieten ausgezeichnete Wiederholbarkeit und Genauigkeit. Darüber hinaus ist das System in der Lage, 2D- und 3D-Oberflächentopographien zu messen, und seine InSpec-Software ermöglicht eine einfache Speicherung, Vergleich und Visualisierung der erfassten Daten. KLA 6200 Surfscan ist ein ideales Werkzeug für jeden Halbleiter oder Forschungsprofi, der nach einer zuverlässigen und kostengünstigen Messtechnik sucht.
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