Gebraucht KLA / TENCOR 6220 Surfscan #181364 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 181364
Weinlese: 2001
Non-patterned Wafer Inspection System
Model No.: 519928
Compatible for 2", 3", 82mm, 4", 5", 6", 8"
Thickness: SEMI standard wafer thickness
Material: Any opaque, polished surface which scatters less than 5 percent of incident light
Smaller sizes factory-set at time of order
Defect Sensitivity: 0.09 micrometer diameter PSL sphere equivalent with greater than 80 percent capture rate
Haze/Sensitivity: 0.02 ppm minimum
Resolution: 0.002 ppm
Repeatability: Count repeatability error less than 0.5 percent at 1 standard deviation (Mean count greater than 500, 0.364mm dia. latex spheres)
Count Accuracy: Better than 99 percent (verified with VLSI Standards’ Relative Standard)
Spatial Resolution: 50mm spacing, minimum
Dynamic Range: 0.07 micrometer to 9,999mm in a single measurement
Throughput: 100 wph (200mm) at 0.12mm
Contamination: Less than 0.005 particles/cm2 greater than 0.15 mm dia. per single pass
Cassette Handling: Single puck wafer handling from two cassettes (one sender/receiver, one receiver)
Illumination Source: 30 mW Argon-Ion laser, 488 nm wavelength
Operator Interface: Mouse and/or dedicated user keypad
Physical Characteristics/Height: 168 cm (66 in.)
Shipping Weight: 300 kg (670 lbs)
Installation Requirements/Vacuum: 508mm (20 in.) Hg.
Electrical: 200-240V, 50/60 Hz
Power Requirement: 2 kVA
Ducted Venting: Two 102mm (4 in.) exhaust hoses
Environment: Class 10 or better
2001 vintage.
KLA/TENCOR 6220 Surfscan ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die für eine Reihe von Wafer-Pegelmessungen eingesetzt werden kann. Es basiert auf dem optischen KLA-Wafer-Inspektionssystem und kombiniert verschiedene optische Technologien wie Rasterelektronenmikroskopie (SEM), Laser Scanning Microscopy (LSM) und Thin Film Measurement (TFM), um Unvollkommenheiten auf Wafern zu erkennen und zu quantifizieren. KLA 6220 Surfscan hat eine Vielzahl von Anwendungen. Es kann eine Reihe von Oberflächenparametern messen, einschließlich Oberflächenebenheit, Schritthöhen, Linienbreiten, Oberflächenfehler und Diffusionseigenschaften. Dies liefert kritische Rückmeldungen für Wafer-Prozesskontrolle und Defektmetriken. Die Einheit verfügt über Datenverarbeitungsfunktionen für Fast Fourier Transform (FFT) Analyse und Bildschirm-zu-Bild-Vergleiche. Es kann auch Bedienervorspannungsfehler minimieren, indem es erweiterte Algorithmen und Automatisierung verwendet. Der 6220 bietet leistungsstarke Funktionen zur Verbesserung der Waferleistung. Mit der softwarebasierten Mustererkennung können Fehler schnell klassifiziert und klassifiziert werden. Es ermöglicht auch eine schnelle Messung mehrerer Messpunkte auf einem einzigen Wafer. Darüber hinaus bietet es die Möglichkeit, komplexe Automatisierungsroutinen für Wafer wie Halbquantifizierung auf Feldebene, Wafer-Mapping und Planarisierungsanalyse durchzuführen. TENCOR 6220 Surfscan kann in einer Vielzahl von Anwendungen eingesetzt werden, einschließlich Die-to-Die, Chip-to-Chip, Package-to-Die und Atom-to-Atom-Messungen. Es ist in der Lage, Daten aus verschiedenen Systemen und Netzwerken zu übertragen und verfügt über eine große Speicherkapazität für Testergebnisse. Darüber hinaus ist es mit einer Reihe von Schutzsystemen ausgestattet, um die Zuverlässigkeit zu verbessern und Ausfallzeiten zu reduzieren. 6220 Surfscan ist für den effizienten und effektiven Einsatz in Wafertests und Messtechnik konzipiert. Es ist eine kostengünstige, automatisierte Maschine, die auf Wiederholbarkeit und Genauigkeit ausgelegt ist. Seine fortschrittlichen optischen Technologien bieten die Fähigkeit, Fehler auf Wafern zu erkennen und zu quantifizieren. Darüber hinaus verfügt es über integrierte Datenverarbeitungsfunktionen und fortschrittliche Technologien zur Mustererkennung und schnellen Messungen.
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