Gebraucht KLA / TENCOR 6220 Surfscan #197891 zu verkaufen

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KLA / TENCOR 6220 Surfscan
Verkauft
ID: 197891
Non-patterned wafer inspection system.
KLA/TENCOR 6220 Surfscan ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung für den Einsatz in der Halbleiterherstellung. Es ist in der Lage, mehrere Arten von elektrischen und physikalischen Eigenschaften auf einer Vielzahl von Wafertypen zu messen, wie Silizium, Galliumarsenid und Verbindungshalbleiter. Das System besteht aus Wafer-Handling-Hardware, die verwendet wird, um die Wafer durch den Prozess zu bewegen, und einer optischen Abbildungseinheit, die verwendet wird, um Fehler auf der Waferoberfläche zu erkennen, zu charakterisieren und zu messen. Die optische Maschine besteht aus einem Bilderfassungswerkzeug, das das Bild des Wafers erfasst, und einem messtechnischen Asset, das das Bild analysiert. Das Bild wird auf Artefakte und Defekte wie Partikel, Gruben und Stufen bewertet. Zusätzlich können KEs wie KE-Kanten und KE-Größe gemessen werden. Das Modell ist in der Lage, Merkmale bis zu 100 nm auf einem 200mm-Wafer zu erfassen und zu messen und wird hauptsächlich für die Geräteprozessentwicklung und Prozessüberwachung verwendet. Das Gerät ist sehr konfigurierbar, mit Optionen für Scanner und Analysator-Konfiguration, sowie mehrere automatisierte Kernel und Datenbanken für Fehlererkennung und -analyse. Darüber hinaus bietet das System dem Benutzer die Möglichkeit, automatisierte Algorithmen für eine Vielzahl von Prozessanforderungen anzupassen. KLA 6220 Surfscan bietet dem Anwender mehrere Vorteile, darunter hohe Genauigkeit und Auflösung, flexibler Betrieb, effiziente Automatisierung und zuverlässige Messungen. Das Gerät arbeitet sowohl in manuellen als auch in automatisierten Betriebsarten und kann Messungen in Standardformaten wie Doppelexponentialschritten und Binärdateien bereitstellen. Die Maschine verfügt auch über mehrere automatisierte Funktionen, die es ermöglichen, effizient und mit minimalem Benutzereingriff zu arbeiten, wie automatisiertes Stapeln, Oberflächenmerkmalserkennung, automatische Fehlerklassifizierung und automatische Fehlerinspektion. Abschließend ist TENCOR 6220 Surfscan ein fortschrittliches Wafertest- und Metrologiewerkzeug, das in der Lage ist, genaue und zuverlässige Messungen an einer Vielzahl von Wafertypen bereitzustellen. Das Asset ist hochgradig konfigurierbar und automatisiert, was es zu einer großen Wahl für die Prozessentwicklung und Prozessüberwachung in der Halbleiterindustrie macht.
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