Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #192511 zu verkaufen

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KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan
Verkauft
ID: 192511
Patterned / Non-patterned darkfield defect inspection system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan ist eine Wafertest- und Messtechnik-Ausrüstung, die Oberflächentopologie mit hoher Geschwindigkeit, Genauigkeit, Flexibilität und Wiederholbarkeit messen und analysieren kann. Das System nutzt fortschrittliche Scan- und Bildgebungstechnologie, um mikroskopische Oberflächenfehler zu erkennen und die detaillierteste Analyse der Oberflächen- und Defekteigenschaften zu ermöglichen, die in aktuellen Produktionsumgebungen verfügbar sind. KLA 6420 Surfscan verwendet eine einzigartige, hochauflösende, 3D-based bildgebende Einheit, die in der Lage ist, jedes Material zu analysieren, sei es Silizium, Glas oder irgendetwas anderes, das zur Herstellung integrierter Schaltungen verwendet wird. Das von der 3D-Bildverarbeitungsmaschine erzeugte Profil dient zur genauen Messung der Oberflächentopologie, zur Isolierung von Oberflächenfehlern vom topographischen Hintergrund und zur Berechnung von Messergebnissen wie Schritthöhen, Oberflächenrauhigkeiten und Grabenbreiten. TENCOR 6420 Surfscan implementiert zudem ein hochmodernes Teilsystem. Sie besteht insbesondere aus präzisen Linearlagern, echten Vertikalhubstufen und computergesteuerten Stufen, die eine präzise Positionierung der Probenstufe über die x-, y- und z-Achse ermöglichen. Mit integrierter Kalibriersoftware erreicht das Tool somit eine optimale Mustererkennungsleistung, indem sichergestellt wird, dass die gesammelten Daten ordnungsgemäß verfolgt und für die Replikation verglichen werden. Eine weitere wichtige Komponente ist der erweiterte Fehlerinspektionsalgorithmus. Dieser Algorithmus kann Fehler mit hervorragender Genauigkeit erkennen und klassifizieren und kann schnell subtile topographische Unterschiede zwischen benachbarten Bereichen eines Chips identifizieren. Mit dem Modell 6420 Surfscan können Anwender auch optische 3D-Profiler wie polarisationsverstärkte konfokale Mikroskope verwenden, um genauere Messungen der Oberfläche zu erhalten. Darüber hinaus bietet PROMETRIX 6420 Surfscan dem Anwender die vollständige Visualisierung und Verwaltung der Prozessdaten. Fortgeschrittene Datenanalyse-Tools, wie die Fehleranalyse-Engine, können automatisch Tausende von Fehlern in einem einzigen Substrat erkennen und charakterisieren, wobei umfassende Berichte über den Inspektionsprozess gespeichert werden. Schließlich ermöglicht KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan dem Anwender eine optimale Produktqualität. Mit seinen strengen Qualitätskontrollmethoden können Hersteller Fehler erkennen und beseitigen, bevor kostspielige Fehler im Produkt auftreten. Als Flaggschiff der KLA ist KLA 6420 Surfscan die perfekte Wahl für diejenigen, die ihre Qualitätskontrolle maximieren möchten.
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