Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX M-Gage 300 #197077 zu verkaufen

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KLA / TENCOR / PROMETRIX M-Gage 300
Verkauft
ID: 197077
Wafergröße: 6"
Thickness measurement system, 6".
KLA/TENCOR/PROMETRIX M-Gage 300 ist eine zuverlässige, vielseitige und leistungsstarke Wafer-Prüf- und Messtechnik, die maximale Genauigkeit und Skalierbarkeit für optische Dünnschicht- und Überlagerungsmessung, Oberflächenbelastung, Profilometrie und Flächenwiderstand bietet. Dieses System ermöglicht eine detaillierte Prozessauswertung für Wafer und Substrate in der Halbleiterindustrie. KLA M-Gage 300 hat eine große Stellfläche und einen hohen Durchsatz, der eine hohe Genauigkeit, Präzisionsmesstechnik mit schnellen Umlaufzeiten ermöglicht. Das Gerät verfügt über eine innovative automatisierte Hochgeschwindigkeits-Autofokusmaschine, die eine beispiellose Gerätegenauigkeit und Wiederholbarkeit bei minimaler Bedienerinteraktion sowie zahlreiche andere High-End-Funktionen bietet, die die Messzeit erheblich reduzieren und die Produktivität maximieren. Das Werkzeug ist programmierbar, um verschiedene Standard-Messtechnik Ausrüstung, einschließlich Weißlicht-Interferometer, Spektroskopie, Streuung, Raman, Atomkraft-Mikroskopie und andere optische und nicht-optische Analysemodule unterzubringen. Es umfasst auch eine präzise zweiachsige Stufe für die Overlay- und Dimensionsrückkopplung sowie einen präzisen automatischen Betrieb für den Probenzyklus, der genaue und wiederholbare Messungen von dünnen Schichten, Oberflächen, Substraten, Halbleiterbauelementen und mikroelektromechanischen Systemen gewährleistet. TENCOR M-Gage 300 ist aufgrund seiner Fähigkeit, die elektronischen, mechanischen und optischen Eigenschaften von Wafern und Substraten in verschiedenen Größen und Formen zu beurteilen, ein wichtiges Werkzeug für die Halbleiterindustrie. Das Asset verfügt über ein hochzuverlässiges integriertes Datenerfassungsmodell, das es einfach macht, Daten diskret und sicher zu übertragen. Darüber hinaus liefert die Reporting-Software detaillierte Ergebnisse, die eine einfache Ermittlung von Prozessparametern ermöglichen. Das Gerät PROMETRIX M-Gage 300 ist auch mit integriertem Touchscreen-Sockel ausgestattet, der eine direkte Integration mit Halbleitergeräten ermöglicht, mit denen Benutzer mehrere Subsysteme schnell miteinander verbinden und durch dunkelraumkompatible Hintergrundbeleuchtung präzise Ergebnisse erzielen können. Dieses System ist auch mit CAD und anspruchsvollen Dünnschichtmodellen kompatibel. Abschließend bietet M-Gage 300-Einheit zuverlässige und fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik-Fähigkeiten mit einer Reihe von anspruchsvollen Funktionen, was es zu einem wirklich vielseitigen und leistungsstarken Werkzeug für die Halbleiterindustrie macht. Es bietet maximale Präzision, Geschwindigkeit und Genauigkeit bei gleichzeitig verbesserter Datengenauigkeit bei minimalem Eingriff des Bedieners.
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