Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9199098 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9199098
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1995
Wafer inspection system, 8"
Cleaning & Wipe-down
With IPA
Puck height
Laser & Optical alignment
18 Mil thick wafers
System belts
Vacuum lines
Ribbon cables
DC Power supply
Laser power supply: GP / IO Program
Wafer indexers: 6" to 8"
Adjust both the left and right
Through beam voltage: 3.0 V DC
Measurement electronics:
INSW
Particle
Haze PCB's
Clean & Lube the wafer robot
Sort-cam
Left & Right lead screws
Scan mirror alignment:
OEM Specification: 20um/sec
EDS and XlY
Up to 200mm capable
Manual cassette load onto elevator
Defect sensitivity: 0.09um at 80% Capture rate
Ar ion laser wavelength: 488nm
Blower unit
R&D Activity
Operating system: Windows 3.11 / KLA 4.0
1995 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan ist eine hochpräzise Wafer-Prüf- und Messtechnik. Es wurde entwickelt, um die Entwicklungsprobleme der großflächigen Waferbearbeitungstechnologie zu bewältigen und zuverlässige Messungen kritischer Geräteeigenschaften zu ermöglichen. Vor dem Aufkommen von UCK 6200 Surfscan wurde viel Arbeit und Zeit benötigt, um jeden einzelnen Wafer zu inspizieren, Fehler zu finden und ihre Ursachen zu verstehen. TENCOR 6200 Surfscan ermöglicht eine zuverlässige Charakterisierung und Prüfung von Wafern, wodurch Hersteller die Leistung ihrer Produkte besser verstehen, defekte Wafer und Geräte leicht identifizieren und ihre Prozesskontrolle verbessern können. Das System bietet schnelle, genaue und wiederholbare Messungen über eine Vielzahl von Materialien und Wafer-Ebenheit oder Nicht-Planität Anwendungen. Diese Geschwindigkeit und Genauigkeit helfen Herstellern, die Durchlaufzeit für die Bewertung ihrer Prozessparameter zu minimieren. Darüber hinaus verwendet 6200 Surfscan fortschrittliche optische Bildgebungs- und Wafer-Tracking-Systeme, um hochpräzise Messungen zu erzielen und Daten mit größerer Integrität zu liefern. Das Gerät bietet den Betreibern auch automatisierte Routinen wie Partikelzählung, Datenerfassung, Messtechnik und andere Messungen, mit denen potenzielle Probleme mit der Waferstruktur, den elektrischen Eigenschaften der Geräte oder Verunreinigungen auf der Waferoberfläche identifiziert werden können. Es enthält auch erweiterte Fehlererkennungsfunktionen wie Darkfield-Modus, um Fremdpartikel auf der Waferoberfläche zu finden. Die Maschine bietet auch unübertroffene Oberflächentopographie-Analysefunktionen mit Parametern wie Linienscan, FFT, 3D-Profil und Amplitude sowohl in Z- als auch in X-, Y-Achsen-Modi. Darüber hinaus bietet PROMETRIX 6200 Surfscan eine hohe Empfindlichkeit für nicht planare (3D) Topographie- und Texturmessungen. Dies ist mit fortschrittlichen Algorithmen möglich, die feine Unterschiede auf Mikroebene erkennen. Das Werkzeug ist auch in der Lage, eine Vielzahl von Materialien schnell zu scannen, von sperrigen Proben bis zu Epi-Substraten. KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan revolutioniert Wafertests und Messtechnik, indem es eine umfassende, schnelle und wiederholbare Möglichkeit bietet, Wafer zu messen, zu charakterisieren und zu klassifizieren. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen und Fähigkeiten unterstützt es die Waferverarbeitungsindustrie dabei, die Prozesskontrolle zu verbessern und effizienter sowie kostengünstiger zu werden.
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