Gebraucht KLA / TENCOR FT-600 #178694 zu verkaufen

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ID: 178694
Weinlese: 1991
Film Thickness Measurement System Power: 115 Volts, 50/60 Hz, 1500 Watts Microscope includes five reflected-light Olympus objectives: - MS Plan 2.5X/0.07, 5X/0.13, 10X/0.30 and 20X/0.46 - ULWD MS Plan 50X/0.55 Includes cassette-to-cassette (C2C) wafer handler with 200mm-wafer trays, PC controller 1991 vintage.
KLA/TENCOR FT-600 ist eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung zur Inspektion von Halbleiterscheiben während des Herstellungsprozesses. Dieses System kombiniert Hochgeschwindigkeitsmessungen, ein fortschrittliches Fehlermanagement und eine robuste Prozesskontrolle in einer Plattform und ermöglicht die Inspektion von Fehlern auf Ein- und Waferebene. KLA FT-600 bietet eine Reihe von Messungen, wie zerstörungsfreie optische Messtechnik, elektrische parametrische Tests und visuelle Bildgebung. Darüber hinaus bietet das Gerät verschiedene Messungen auf Stanz- und Wafer-Niveau, einschließlich berührungsloser topographischer Messgenauigkeit von einem Nanometer oder besser, Funktionen zur algorithmischen Messung und detaillierte 3D-Bildgebung von bis zu acht Schichten. Mit dieser fortschrittlichen Maschine können Benutzer Parameter wie Dicke, Profil, Gleichmäßigkeit, Schritthöhe, Steigung und Berandungsform schnell und genau messen. Das Tool verfügt über eine benutzerfreundliche Oberfläche, die es den Betreibern ermöglicht, das Asset schnell zu erlernen und den Workflow zu optimieren. TENCOR FT-600 bietet darüber hinaus erweiterte Fehlermanagementfunktionen wie bis zu 100 aktive Defekte pro Wafer, Benachrichtigungen des Bedieners, Positionsgenauigkeit von weniger als einem Mikron und integrierte Lasermarkiersteuerung. FT-600 bietet zudem eine robuste Prozesssteuerung und Rückverfolgbarkeit mit einer Echtzeit-Anzeige von Prozessüberwachungs- und Feedback-Daten auf jedem Wafer. KLA/TENCOR FT-600 bietet eine Vielzahl von Funktionen, wie eine konfigurierbare Automatisierungs-Programmiersprache, eine erweiterte Switch-Matrix für schnelle Tests und Verifizierung und eine Bibliothek von gespeicherten Daten für zukünftige Referenzen. Zusätzlich ist das Modell mit vier diskreten Werkzeugen pro Wafer-Inspektion ausgestattet, so dass Benutzer die Eigenschaften der Matrize über den gesamten Wafer mit einer einzigen Sonde bestätigen können. Darüber hinaus bietet KLA FT-600 eine umfassende Steuerung der Umgebungsumgebung, die eine präzise Prozesssteuerung und Handhabung hochsensibler Wafer ermöglicht. TENCOR FT-600 Geräte sind ein fortschrittliches, hochpräzises und effizientes Wafertest- und Messtechniksystem zur präzisen Charakterisierung und Überwachung der Halbleiterverarbeitung. Dieses Gerät bietet eine Vielzahl von Funktionen, wie zerstörungsfreie optische Messtechnik, elektrische parametrische Tests, visuelle Bildgebung, Fehlermanagement und Prozesssteuerung. Mit seinen robusten Funktionen können Anwender Wafer schnell und präzise inspizieren und ihre Prozessabläufe optimieren.
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