Gebraucht KLA / TENCOR FT-750 #69314 zu verkaufen

KLA/TENCOR FT-750 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die speziell für Front-End-Produktionsprozesse bis 200 mm entwickelt wurde, um Präzision und Genauigkeit zu bieten, die für anspruchsvolle Ätz- und Musteranwendungen erforderlich sind. Das hochautomatisierte System kann eine Vielzahl von Fehlertypen analysieren, einschließlich Unterflächenlinie, Überbreite und fehlende Leitungsfehler, sowie Linienbreite, Foliendicke und Oberflächenwiderstand messen. KLA FT-750 Wafer-Prüf- und Messtechnik-Einheit basiert auf dem Konzept einer echten bildgebenden CDSEM, die überlegene Auflösungsleistung, überlegenen Musterkontrast und einen breiten Kontrastbereich kombiniert, der eine genaue Fehlererkennung gewährleistet. TENCOR FT 750 Maschine nutzt fortschrittliche hochauflösende Optik und bietet Auflösungen bis zu 0,20 Mikrometer. Das Werkzeug enthält eine automatisierte Vakuumschale, die ein konstantes Hochvakuum für schnellen Probenaustausch erzeugt und den Durchsatz erhöht. FT-750 umfasst ein automatisiertes Wafer-Mapping-Tool für die Stanzen sowie erweiterte Software-Tools wie Multicriteria-Auswertungsalgorithmen, die eine detaillierte Analyse einer Vielzahl von Fehler- und Prozesseigenschaften ermöglichen. KLA/TENCOR FT 750 bietet auch eine leistungsstarke Tiefenprofilierung, eine wichtige Funktion, die es Anwendern ermöglicht, ein vollständiges Bild der Probe zu erhalten, wodurch Fehleruntersuchungen und Prozesskontrolle maximiert werden. Das Asset ist so konzipiert, dass es konfigurierbar und erweiterbar ist, sodass Benutzer das Modell an ihre Anforderungen anpassen und aktualisieren können. KLA FT 750 Geräte sind sehr zuverlässig, dank Funktionen wie De-Staub-Algorithmen, die es dem System ermöglichen, auf höchstem Leistungsniveau zu arbeiten und Waferbrüche zu reduzieren. Das Gerät umfasst auch einen Indexiertisch und einen Autohubschütz für Hochdurchsatzmessungen. Eine offene Schnittstelle ermöglicht die einfache Integration des FT 750 in eine bestehende Prozessüberwachungsplattform und liefert den Betreibern detaillierte Informationen zum Waferzustand. Zusammenfassend ist TENCOR FT-750 eine hochzuverlässige, automatisierte Wafer-Prüf- und Messtechnik-Maschine zur Unterstützung von Front-End-Produktionsprozessen bis 200 mm. Das Tool bietet Auflösung bis zu 0,20 Mikrometer, anpassbare und erweiterbare Konfigurationen, Fehlererkennung und Prozesskontrolle und eine integrierte Schnittstelle, wodurch das Asset für jede Produktionsumgebung geeignet ist.