Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35C #9281758 zu verkaufen
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ID: 9281758
Wafergröße: 2"-8"
Resistivity mapping system, 2"-8"
4-Points probe
Vacuum: 300 mm HG
Hard Disk Drive (HDD)
PC
Color monitor
XY Pattern test
Measurement range: 5 mΩ to 5 mΩ
Maps: Average, difference, and ratio
Calibration curves and correlation equations
Trend and SQC charts
Data import and export
ASCII Copy to diskette
Measurement options: Mapping (Up to 625 sites)
Qualification test:
Contour maps
3D Maps
Diameter scans (Up to 625 sites)
Quick tests: Standard and user-definable tests (Up to 30 sites)
Accuracy:
± 0.2% (Standard resistor)
± 1% (NIST Wafer)
Repeatability : <0.2% (1 sigma)
Power supply: 115 / 230 V, 8 A, 50/60 Hz.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-35C ist eine hochmoderne Wafer-Prüf- und Messtechnik, die umfassende Analyse- und Fehlererkennungsfunktionen bietet. Es ist für den Einsatz in fortgeschrittenen Prozesscharakterisierungsumgebungen wie der Halbleiterherstellung und verwandten Industrien konzipiert. Das System ist mit einer Reihe von automatischen, nichtautomatischen und halbautomatischen Modi ausgestattet, die es Anwendern ermöglichen, Wafer schnell zu analysieren und zu verarbeiten. Das Gerät verfügt über eine fortschrittliche hochauflösende Bildgebungstechnologie mit ausgeklügelten messtechnischen Funktionen, einschließlich kontrastverstärkter Bildgebung, Fehlerinspektion, automatisierter Fehlerklassifizierung und Fehlererkennung. Mit dieser Maschine können Anwender auch eine Reihe automatisierter Messungen durchführen, wie Linienbreiten, kritische Maßmessungen, Überlagerungsmessungen und On-Wafer-Spannungsmessungen. Dank der integrierten Lithographie können Anwender präzise Muster im gesamten Waferbereich erstellen. Ein weiterer wichtiger Bestandteil des Werkzeugs sind die bordeigenen Analysewerkzeuge. KLA RS-35C verwendet eine Reihe von Softwarepaketen, um Benutzern zu helfen, ihre Daten zu analysieren. Tools wie das Wafer Mapping Asset, Simulator/Analyzer und Data Reviewer ermöglichen eine einfache und umfassende Inspektion der Waferoberfläche. Zusätzlich nutzt das Modell integrierte grafische Benutzereingaben zur Parameteroptimierung sowie eine Reihe von Analysealgorithmen zur Fehlererkennung und -analyse. Mit TENCOR RS 35C können Anwender relevante Prozessdaten präzise und schnell erfassen. Darüber hinaus können diese Daten mit anderen Datenquellen kombiniert werden, um umfassende Metriken zu erstellen, mit denen Anwender ihre Prozesssteuerungsparameter optimieren können. Durch die präzisen Erfassungs- und Messfähigkeiten ermöglicht diese Ausrüstung auch eine hohe Einhaltung etablierter Qualitätsstandards. Insgesamt ist RS 35C ein hochfähiges Wafer-Test- und Messtechnik-System, das es Anwendern ermöglicht, Prozessdaten schnell und präzise zu sammeln. Seine Palette an automatisierten und nicht automatisierten Funktionen, kombiniert mit den hochauflösenden Bildgebungs- und Messtechnikfunktionen, machen es zu einer idealen Lösung für erweiterte Prozesscharakterisierungsumgebungen.
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