Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55/TC #195934 zu verkaufen

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KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55/TC
Verkauft
ID: 195934
Resistivity measurement system, with autoloader Flat panel Probe head.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55/TC ist ein Wafer-Prüf- und Messtechnik-Gerät zur Analyse und Messung von Halbleiterscheiben. Es wurde entwickelt, um Halbleitereigenschaften wie Beulen, Leitungen, Ungleichmäßigkeit und Merkmalsgröße zu untersuchen und zu überprüfen. Das System basiert auf fortschrittlicher optischer Technologie und ist in der Lage, verschiedene Abmessungen und Defekte auf Wafern schnell und präzise zu erkennen. KLA RS-55TC kann an ein automatisiertes Wafer-Handling-Gerät (AWHS) angeschlossen und zur Inspektion und Messung von Waferoberflächen und -merkmalen verwendet werden. Die Maschine ist mit Auto-Focus Tilt Kamera und Dual Telecentric Objektive ausgestattet. Die Autofokus-Neigungskamera ermöglicht es dem Werkzeug, hochauflösende Bilder der Probe zu erfassen. Die Doppellinsen haben eine einstellbare Tiefenschärfe und können Bilder verschiedener Fokusebenen aufnehmen. TENCOR RS55/TC ist in der Lage, 3D-Daten und Oberflächentopologiemessungen von Wafern zu erhalten. Es kann Stoßhöhe, Größe und Form sowie Linienbreiten, Steigungen und CD-Werte (Critical Dimension) messen. Das Asset kann auch Variationen in Linienbreiten und Abständen erkennen sowie KEs auf Einheitlichkeit analysieren. Verschiedene Analysetechniken werden verwendet, um Merkmale auf Wafern zu messen, einschließlich SEM (Scanning Electron Microscopy), optische Mikroskopie, SEM-AFM (Scanning Electron Microscopy-Atomic Force Microscopy) und Weißlicht-Interferometrie. Das Modell verwendet eine Kombination dieser Techniken, einschließlich fortgeschrittener Algorithmen, um Fehler und Variationen auf Waferoberflächen zu erkennen. TENCOR RS-55TC hat die Fähigkeit, verschiedene Arten von Materialien zu messen, wie Silizium, Kupfer, Aluminium, Gold und andere Arten von Metallen. Die Geräte können auch organische Materialien analysieren, was sie für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet macht. Das System bietet einen hohen Durchsatz und schnelle Inspektionsgeschwindigkeiten. Es ist auch mit einer einfach zu bedienenden Schnittstelle ausgestattet, die die Datenerfassung und Berichtsgenerierung einfach und schnell macht. Zusammenfassend ist TENCOR RS-55/TC eine modernste Wafer-Prüf- und Messtechnik-Einheit zur Inspektion und Messung von Halbleiterscheiben. Die Maschine nutzt fortschrittliche optische Technologie und nutzt maßgeschneiderte Analysetechniken, um Fehler und Variationen zu erkennen. Mit seinen leistungsstarken Features, dem schnellen Durchsatz und der benutzerfreundlichen Schnittstelle ist KLA RS-55/TC eine ideale Wahl für die Inspektion und Messung von Waferoberflächen.
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