Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75 #197154 zu verkaufen

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KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75
Verkauft
ID: 197154
Resistivity measurement system Table-top unit.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-75 ist eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die die neuesten Anforderungen der Prozesskontrolle und Qualitätssicherung/-kontrolle für die Halbleiterindustrie unterstützt. Die KLA RS75 bietet Präzision und Genauigkeit in einer Reihe von kritischen Dimensionen unter Mikrometern und ist die ideale Lösung für fortschrittliche Prozesskontrolle und kritische Dimensionsmesstechnik. Das System ist mit integrierten Funktionen für Messtechnik, Tests, Prozesskontrolle und Fehlerdiagnose ausgestattet und ermöglicht eine Qualitätssicherung/-kontrolle, ohne den Gesamtdurchsatz zu beeinträchtigen. Seine fortschrittliche Optik ist in der Lage, Submikron-Messungen kritischer Merkmale einzeln oder im Batch-Modus durchzuführen, was bedeutet, dass das Gerät mit voller Vertrauensqualitätssicherung oder Prozesskontrolle verwendet werden kann. Das Gerät kombiniert Bildverarbeitung und Mustererkennung zu automatisierten Messungen aus Wafer-Bildern, die mit Daten aller Produktionsanlagen integriert sind. TENCOR RS 75 umfasst mehrere Komponenten, darunter einen automatisierten Waferlader zur Minimierung der manuellen Arbeit sowie ein Wafer-Mapping-Modul, um eine detaillierte Abfrage der Testergebnisse von jedem Wafer im Lot zu ermöglichen. Die Präzision der Maschine ermöglicht Ergebnisse, die über verschiedene Wafermarken hinweg konsistent sind, während die flexible Schnittstelle es einfach für verschiedene Produktionsprozesse konfigurierbar macht. Die Werkzeugkonsole ermöglicht die Datenerfassung und -analyse zur Prozesssteuerung und Fehlerdiagnose. Es hat auch die Fähigkeit, kleine Merkmale zu messen, einschließlich einzeiliger Kantenrauhigkeit und Kontaktbohrung/Abstand auf modernsten Wafern. PROMETRIX RS-75 ist außerdem mit einer automatischen Ausrichtungsfunktion ausgestattet, die maximale Genauigkeit und Wiederholbarkeit ermöglicht. Dies ist entscheidend für komplexe Anwendungen, die mehrere Messungen und Prozesse erfordern. Das Gerät ist auch mit einer hochauflösenden Farbkamera ausgestattet, die Farbbilder der Wafer bereitstellen kann. Das Modell ermöglicht eine schnelle und zuverlässige Probenvorbereitung ohne manuelle Eingriffe, wodurch die Qualität und Sicherheit der Proben erhalten bleibt. Es verfügt auch über einen umfangreichen Durchsatz und die Fähigkeit, mehrere Prozesse mit Genauigkeit und erhöhtem Durchsatz zu automatisieren. Zusammenfassend ist RS-75 eine extrem fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die die anspruchsvollsten Anforderungen an Leistung und Prozesskontrolle erfüllt. Seine Präzision und Genauigkeit, kombiniert mit seiner flexiblen Schnittstelle und hochauflösenden Bildgebung, machen TENCOR RS-75 zu einem idealen System für die Halbleiterindustrie.
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