Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1280SE #9013077 zu verkaufen

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ID: 9013077
Wafer inspection system, 8" SMIF 2001 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1280SE ist eine moderne Wafer-Prüf- und Messtechnik, die in der Halbleiter- und optischen Industrie eingesetzt werden kann. KLA UV-1280SE ist für eine Vielzahl von Anwendungen wie dielektrische und topographische Inspektion, elektrische Messtechnik, optische Inspektion, positive Lithographie und Dünnschichtmessungen konzipiert. TENCOR UV 1280 SE verfügt über eine feldverstärkte optische Plattform, die eine genaue Messung einer Vielzahl von Materialien ermöglicht, unabhängig von Reflektivität oder Polarisation. PROMETRIX UV 1280 SE ist in der Lage, hochauflösende 3D-Messtechnik-Daten sowie simultane Bildgebung zu sammeln. Es verwendet einen hochenergetischen fokussierten Strahl, schwebende Objektivstufen und zwei variable Verzögerungslinien für die Platzierung und Belichtung der Probe für die Inspektion. Dies ermöglicht eine präzise Inspektion und Detektion verschiedener Merkmale auf der Probenscheibe mit minimaler Beschädigung von Strukturen auf der Oberfläche. Das System verfügt auch über eine Reihe von verschiedenen bildgebenden Funktionen, wie Dunkelfeld-Bildgebung, Micropatterning, Mehrfachmuster und optische Komparatoren. Alle diese Abbildungsmodi können kombiniert und verwendet werden, um die Struktur der Probe auf mehreren Skalen genau zu untersuchen. Die bildgebenden Funktionen von KLA UV 1280 SE werden mit fortschrittlicher Software kombiniert, die Funktionen von Interesse in schneller Zeit identifizieren und messen soll. KLA UV 1280SE verfügt auch über spezialisierte berührungslose Instrumente zur Foliendickenmessung. Es ist sowohl mit einem Monochromator-basierten Spektrometer als auch mit einem Mehrwellenlängenlaser für präzise und kontrollierte Dickenmessungen ausgestattet. Das Gerät ist mit einer Vielzahl von Einfallswinkeln ausgestattet, mit denen die Dicke jeder Schicht auf dem Probenwafer gemessen werden kann. Das Instrument kann sowohl private Schlitze als auch sechseckige Strukturen mit Hilfe der Fotoresist-Bildgebung messen. Insgesamt ist PROMETRIX UV 1280SE eine One-Stop-Maschine zur Durchführung einer Vielzahl von Wafertests mit Genauigkeit und Geschwindigkeit. Seine erweiterten bildgebenden Funktionen ermöglichen präzise 3D-Messungen von nanoskaligen Eigenschaften, während seine Instrumente mit variablem Winkel perfekt zur Messung der Filmdicke geeignet sind. Darüber hinaus ermöglicht seine robuste Softwarefunktion effiziente und automatische Messungen von Zielorten und ist damit ein wertvolles Werkzeug für die Halbleiter- und Optikindustrie.
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