Gebraucht KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600B #9225845 zu verkaufen

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600B ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die speziell für die Halbleiterherstellung entwickelt wurde. Das System bietet eine umfassende Palette von Messtechnik und Inspektionswerkzeugen für die Herausforderungen der nächsten Generation der Messtechnik und bietet gleichzeitig hohen Durchsatz und geringen Overhead. Das Gerät verfügt über eine beeindruckende Suite mit SEMI-Standardmessungen, Overlay, CD-SEM, Waferdefekt und zerstörungsfreien Niederspannungsprüfungen. KLA OPTIPROBE 2600B verfügt über eine 5-Achsen-Motorstufe zur Inspektion, Servo-gesteuerte Raster und bis zu drei motorisierte Mikroskope für die Inline- und Offline-Verarbeitung. Die Maschine ist mit einer modularen Architektur konzipiert, die bis zu 10 µm Auflösung auf 200 mm und 300 mm Substraten aufnehmen kann und eine Fläche von 900 mm mal 1200 mm abtastet. Das Tool verwendet patentierte 2D- und 3D-Bildalgorithmen zur genauen Messung und Analyse von Linienbreiten und -abständen, Kantenplatzierung, Overlay-Problemen, Topographie, Wellenform und Konturen. Es liefert auch Daten von leistungsstarken Fehlererkennungswerkzeugen für saubere und nicht saubere Wafer. Die proprietäre ODCX-3D patentierte prozess- und gerätebewusste Fehlerinspektionssoftware lokalisiert sowohl die eingebetteten als auch die peripheren Defekte und liefert schnelle Analysen und Berichte. Darüber hinaus nutzt die patentierte TENCOR OPTIPROBE 2600B die PRT-Mustererkennungstechnologie, um prozessempfindliche Defekte zu identifizieren und zu melden. Die komplette Wafer-Test- und Messtechnik-Softwareplattform Insight bietet eine umfassende Palette prozessempfindlicher und DFM-sensibler Anwendungen zur Überprüfung aller wichtigen Fertigungs- und Verpackungsfehler. THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600B ist für schnelle und hohe Genauigkeitsmessungen ausgelegt. Es verwendet fortgeschrittene Bildverarbeitungstechniken, um Kantenplatzierung zu decodieren und Probleme mit Sub-Nanometer-Genauigkeit zu überlagern. Darüber hinaus ist es in der Lage, die Routinetests für zeitintensive Aufgaben sowie komplexe Aufträge zu automatisieren und die Daten zur weiteren Analyse automatisch an Softwaresysteme zu übertragen. Das OPTIPROBE-Asset bietet drei wichtige erweiterte Funktionen, wie eine integrierte Prozesskontrollstation, erweiterte Webdienste und den Offline-Betriebsmodus. Es bietet auch Fernzugriff und sichere Steuerung über sichere Webdienste. Das Modell ist perfekt für die heutigen fortschrittlichen Prozess- und Fertigungsanforderungen konzipiert.