Gebraucht THERMA-WAVE OPTIPROBE 3260 DUV #9004644 zu verkaufen

THERMA-WAVE OPTIPROBE 3260 DUV ist ein High-End-Wafer-Prüf- und Messtechnik-Gerät, das für den Einsatz in Prozessen im Zusammenhang mit fortschrittlicher IC-Technologie entwickelt wurde. Es verwendet eine einzigartige alle winkelabhängige Phasenmessung (APM) Bildgebungstechnologie, um in Echtzeit die physikalischen Eigenschaften eines Wafers zu messen. Es wird verwendet, um physikalische Eigenschaften wie Ätzhöhenprofile, Reflektivitätsprofile, dielektrische Stapel usw. genau zu messen. Diese physikalischen Eigenschaftsmessungen ermöglichen die Optimierung vieler wichtiger Parameter in Wafer-IC-Fertigungsprozessen. THERMA-WAVE OPTIPROBE 3260DUV kann bis zu 16 verschiedene IC-Materialien messen, darunter Silizium, Galliumarsenid (GaAs), Germanium (Ge) und Tantaloxid (Ta2O5). Es verfügt über ein Quad-Detektor-Array, um sicherzustellen, dass genaue Messungen aus mehreren Winkeln eines Wafers genommen werden können. Dies ist ein unschätzbares Merkmal in Halbleiterprozessen, die hohe Präzision und Genauigkeit erfordern. Das optische System hat einen Wellenlängenbereich von 193-1535 nm und gewährleistet Messungen über eine breite Palette von Materialien und Anwendungen. Neben dieser beeindruckenden optischen Einheit verfügt OPTIPROBE 3260 DUV auch über einen integrierten Scankopf, der bis zu vier Wafer-Sondierungspunkte in einem einzigen Scan messen kann. Dies ist eine ideale Wahl für Anwendungen mit mehreren Prozessschritten oder der Verifizierung von Wafermessungen. Der Scan ist auch in der Lage, ein algorithmisch optimales Abtastmuster zu erzeugen, um jedes Mal genaue und wiederholbare Messungen zu gewährleisten. Darüber hinaus bietet OPTIPROBE 3260DUV viele weitere Vorteile, wie die Möglichkeit, Messungen für Wafer unterschiedlicher Dicke durchzuführen, schwere Parallelitätsabtastprozesse durchzuführen und Rauschen aus dem Signal herauszufiltern. Die fortschrittliche integrierte Steuerungssoftware, die mit verschiedenen Arten von Datenanalyse- und Steuerungssystemen kompatibel ist, bietet zudem ein hohes Maß an Flexibilität und Automatisierung. Dies gewährleistet eine verbesserte Messgenauigkeit, Wiederholbarkeit und Zuverlässigkeit. Zusammenfassend bietet THERMA-WAVE OPTIPROBE 3260 DUV eine umfassende und fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik-Maschine. Das Quad-Detektor-Array, der breite Wellenlängenbereich und der integrierte Scankopf ermöglichen hochgenaue und zuverlässige Messungen über mehrere Winkel und Prozessschritte. Darüber hinaus sorgt die integrierte Steuerungssoftware für einen optimierten Scanprozess und höhere Automatisierungsstufen. Damit ist THERMA-WAVE OPTIPROBE 3260DUV eine ideale Wahl für fortschrittliche IC-Fertigungsprozesse.