Gebraucht THERMA-WAVE OPTIPROBE 5205 #62641 zu verkaufen

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ID: 62641
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2001
Thin film measurement system, 8" Process Type: Single Wafer CE Marked Cassette Interface: 2 Asyst SMIF Loadports Wafer Handler Type: Puck PRI Robot – Single Blade Measurement Techniques: Beam Profile Reflectometer Beam Profile Ellipsometer Deep Ultra-Violet Reflectance Ionizer in Mini-environment (MENV) OS Software: Win XP Application SW: TFMS-XP V3.2R1 SR-0 P6 HF2 V 100-120 / 200-240, A 20, Single Phase, Freq 50 / 60Hz 2001 vintage.
THERMA-WAVE OPTIPROBE 5205 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die als eine voll ausgestattete Plattform zur Durchführung verschiedener Arten von Wafertests und Messtechnik konzipiert ist. Es ist in der Lage, hochgenaue Daten sowohl über aktive als auch nicht-aktive Wafer-Formate und Backend-Formate bereitzustellen. Die Plattform nutzt bewährte Technologien, um präzise Scan- und elektrische Leistungsprofile sowie dreidimensionale optische und andere optische Breitbandmessungen einzelner Matrizen oder ganzer Wafer zu erhalten. Die Plattform basiert auf einer rotierenden Waferstufe und enthält mehrere Maßnahmen zur Beseitigung von Off-Axis-Fehlern, die die Wiederholbarkeit von Form zu Form und die Linearität des Systems optimieren. Durch diese Konstruktion ist die Einheit in der Lage, Form, Oberfläche und elektrische Eigenschaften einzelner Matrizen oder ganzer Wafer genau zu messen. OPTIPROBE 5205 ist auch mit einer proprietären Wärmewellen-Bildgebungsmaschine ausgestattet, die eine zweidimensionale Infrarot-Bildgebung zur Lokalisierung von Stempelversagen und Hot-Spot-Identifikation bietet. Die mehrkanalige Wellenformerfassung ermöglicht ferner die Erfassung elektrischer Wellenformen auf Wafern sowohl von Geräten als auch von Geräten, die an Gate und Drain angeschlossen sind. Für die Messtechnik verfügt das Werkzeug über eine integrierte Messtechnik-Stufe, die es sowohl für die optische als auch andere Messtechnik geeignet macht. Die Messtechnik-Stufe ist mit einem hochauflösenden Videobildmaterial integriert, das Vergrößerungs- und Fokuskorrekturen sowie topographische Bildgebung ermöglicht. Es kann auch für die optische Abbildung auf Nanometerebene gemessen werden. Das Modell verfügt über einen intuitiven Touchscreen-basierten Controller, der die Bedienung optimiert und sowohl manuell als auch automatisiert funktioniert. Darüber hinaus ist THERMA-WAVE OPTIPROBE 5205 mit einer fortschrittlichen Vision-Ausrüstung ausgestattet, die Mustererkennungstechnologie und Autofokus-Fähigkeiten bietet. Es kann so konfiguriert werden, dass automatisierte Schaltungsmessungen und softwareunterstützte Stempelerkennung und Positionserkennung durchgeführt werden. Dieses fortschrittliche Vision-System eignet sich für automatisierte Fehleranalysen wie Querschnittsanalyse und 3D-Overlay-Ausrichtung. Schließlich verfügt OPTIPROBE 5205 über erweiterte Funktionen, die es zu einer idealen Wafer-Prüf- und Messtechnik-Einheit für Anwendungen wie IC-Verpackung, MEMS, SiP und Montage machen. Die Maschine liefert auch präzise Daten in aktiven und nicht aktiven Waferformaten und eignet sich somit für eine Vielzahl von Wafertest- und messtechnischen Aufgaben.
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