Gebraucht VEECO / SLOAN DEKTAK IIA #197824 zu verkaufen

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ID: 197824
Weinlese: 1984
Wafer Surface Profiler.
VEECO/SLOAN DEKTAK IIA Wafer Test und Metrologie Ausrüstung ist eine automatisierte und vielseitige Messtechnik-Plattform entwickelt, um eine Vielzahl von Topographie und Nanooberfläche Charakterisierung Anforderungen für eine Reihe von Anwendungen zu erfüllen. Das System bietet Low-Profile, berührungslose Diagnostik für Anwendungen in der Halbleiterherstellung, Forschung und Entwicklung sowie analytische Oberflächenwissenschaften. VEECO DEKTAK IIA verwendet eine kapazitätsgetriebene, berührungslose Stiftmesseinheit, die sich für korrelative Messungen für Oberflächenrauhigkeit und Schritthöhe sowie Oberflächenwiderstand/Leitfähigkeit eignet. SLOAN DEKTAK IIA implementiert ein resistives Scannen mit einer niedrigen vertikalen Auflösung von 0,1 µm (10 nm), um auch die kleinsten topographischen Merkmale der Probe genau zu erfassen. Die Abtastgeschwindigkeit und die Kontaktkraft sind einstellbar, so dass der Benutzer die Maschine besser an die Bedürfnisse der beobachteten Probe anpassen kann. DEKTAK IIA bietet einen Dynamikbereich bis 1000X, der genaue und wiederholbare Messungen von Proben mit hohem Seitenverhältnis ermöglicht. Das intuitive Softwarepaket ermöglicht es dem Benutzer, die Anzeige anzupassen, um Konturkarten, Querschnittsprofile und andere grafische Darstellungen anzuzeigen. Dies ermöglicht eine schnelle Identifizierung morphologischer Merkmale an der Probe, wodurch dem Benutzer ein umfassendes Verständnis der Probe ermöglicht wird. Neben der einfachen Messung topographischer Merkmale kann VEECO/SLOAN DEKTAK IIA auch für eine Vielzahl von Wafertest- und messtechnischen Anwendungen eingesetzt werden. Dazu gehören Photolithographie, Plattenbau, intermetallische dielektrische Messung und berührungslose chemische Konzentrationsmessung. VEECO DEKTAK IIA ist auch mit einer optionalen UV-Lichtquelle ausgestattet, die eine direkte Abbildung von Photolack- und Photolackschichtdicke ermöglicht. Um die genauesten Ergebnisse zu gewährleisten, bietet SLOAN DEKTAK IIA auch eine breite Palette von Probenhaltern für eine Vielzahl von Probengrößen. Dadurch wird sichergestellt, dass die Probe sicher gehalten wird, ohne dass die Gefahr einer Verschiebung während des Messvorgangs besteht. DEKTAK IIA ist für den automatisierten Betrieb konzipiert und bietet eine schnelle und zuverlässige Datenerfassung für eine Vielzahl von messtechnischen Anforderungen.
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