Gebraucht MODUTEK QA14-DA1 #9081711 zu verkaufen

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MODUTEK QA14-DA1
Verkauft
Hersteller
MODUTEK
Modell
QA14-DA1
ID: 9081711
Wet station.
MODUTEK QA14-DA1, hergestellt von MODUTEK Corporation, ist eine Nassverarbeitungsstation, die für die Verwendung in einer Vielzahl fortschrittlicher Halbleiterproduktionsprozesse entwickelt wurde. QA14-DA1 ist in der Lage, Substrate zwischen 200mm und 300mm in der Größe zu handhaben, und bietet eine Gesamtprozessfläche von 10.240 Quadratzoll. Weitere Merkmale sind eine Prozesskammer mit einer Tiefe von 18 Zoll, ein Ladeanschluss, der bis zu sechs Kassetten aufnimmt, ein Gaskasten zur geregelten Gasverteilung und eine langlebige Membranübertragungseinheit. Die versiegelte Edelstahlkonstruktion der Station sorgt für maximale Effizienz bei Produktionsprozessen. Es ermöglicht auch eine Reihe automatisierter Verfahren, wie chemische Formulierungen, Resiststreifen, Ätzen, Reinigen und Trocknen. Damit eignet sich die Nassstation für Anwendungen in der Waferherstellung, Photomaskenherstellung und anderen Hightech-Branchen. Die Station ist mit einem leistungsstarken Einphasenpumpensystem ausgestattet, das eine Mischung aus Kreisel- und Verdrängerpumpen verwendet. Dieses flexible System ist in der Lage, Chemikalien, Flüssigkeiten und andere Materialien mit vier Durchflussraten - 10, 20, 30 und 40 Liter pro Minute - zu übertragen. Das System bietet auch mehrere zusätzliche Fähigkeiten, wie Luftbewegung, Luftansumpf sprudeln und Hydropulsbetrieb. Die Station wurde entworfen, um eine strenge Abfallwirtschaft und Benutzerfreundlichkeit zu gewährleisten. Es unterstützt eine Reihe von Abfallbehandlungsfähigkeiten, wie die Verwendung von gemeinsamen Abfalltanks, die Fähigkeit, mehrere Arten von Abfällen zu verwalten, und eine kontinuierliche Rückmeldung über das Abfallaufkommen. Damit eignet es sich für den Einsatz in großvolumigen Wafer-Fertigungsumgebungen, in denen strenge Abfallwirtschaftsprotokolle eingehalten werden müssen. Die Nassstation erleichtert zudem eine schnelle, benutzerfreundliche Bedienung. Die Benutzeroberfläche bietet anpassbare Rezepte, automatische Überwachung vitaler Parameter und detaillierte Wartungsaufzeichnungen. Darüber hinaus ermöglicht der modulare Aufbau eine einfache Wartung und Wartung. Insgesamt bietet MODUTEK QA14-DA1 leistungsstarke Funktionen und eine vielseitige Leistung, die es für den Einsatz in einer Reihe fortschrittlicher Halbleiterprozesse geeignet macht.
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