Gebraucht SANKYO WH80 #293608546 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 293608546
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1996
Wet oxide station, 8"
Oxide etch wet bench
VERTEQ SRD
Chuck clean bath (PVC)
Touch panel
(4) Chemical baths (PTFE)
(4) Circulation pumps
(4) Dampers
(4) Heat exchangers
GEM Controller
F/R Bath (QUARTZ)
(2) O/F Baths (QUARTZ)
(4) Circulation lines
(4) Valves
(4) Filter housings
PC
Handler system:
(2) Wafer transfer systems
(2) Stocker robots
(3) Transfer robots
Transporter
Transformer
UPS
Factory interfaces:
(2) SMIF
1996 vintage.
SANKYO WH80 Nassstation ist eine All-in-One-Maschine zur Nassverarbeitung von Halbleiterscheiben. Es wurde entwickelt, um höchste Genauigkeit und Zuverlässigkeit für Schlüsselprozesse wie Photolackbeschichtung, Entwicklung, Messtechnik und Nachbearbeitung zu bieten. Dieses Gerät verfügt über eine intuitive Benutzeroberfläche, eine breite Palette von anpassbaren Automatisierungsoptionen und erweiterte Steuerungssoftware, so dass es eine gute Wahl für High-End-Halbleiter-Produktionslinien ist. Die Maschine ist mit einer Steuerung und einem intelligenten Roboter ausgestattet, die das Substrat von Station zu Station bewegen. Diese Maschine verfügt über einen Großrechner mit einer Reihe von austauschbaren Arm- und Düsenanordnungen, die Flexibilität in der Substrathandhabung ermöglichen. Zum Großrechner gehören auch eine Wafer-Reinigungsstation, eine Routing-Station und eine Gate-Station, die den Wafer steuern und leiten. An der Photolackbeschichtungsstation wird der Wafer automatisch mit Photolack beschichtet und getrocknet. Die Entwicklungsstation ist in der Lage, eine Reihe von Resist-Profilen zu entwickeln, darunter dünne und harte Resists, Kantenperlenwiderstände und negative Resists. Die Maschine ist auch in der Lage, den Wafer zu reinigen und zu trocknen sowie eine Naßchemiestation, eine Schlammfilterstation und eine Glühstation bereitzustellen. WH80 Nassstation verfügt auch über ein umfassendes Messsystem, mit dem verschiedene Parameter der Waferproduktion wie Wafergröße, Widerstand, Ätztiefe und Oberflächenrauhigkeit gemessen werden können. Das Gerät liefert auch detaillierte Analysedaten wie Overlay-Performance und Prozesswiederholbarkeit. Die Maschine ist mit der Steuerungssoftware verbunden, mit der Benutzer ihre Funktionen fernsteuern können. Darüber hinaus kann die Software dank integrierter Optimierungsalgorithmen zur Optimierung des Produktionsprozesses eingesetzt werden. SANKYO WH80 Nassstation ist ein unschätzbares Werkzeug für Halbleiterhersteller und bietet eine Komplettlösung für die Nassverarbeitung. Es ist ein zuverlässiges, kostengünstiges Werkzeug, das höchste Leistung und Genauigkeit bietet. Mit seiner breiten Palette an automatisierten Optionen, umfassenden messtechnischen Möglichkeiten und einem benutzerfreundlichen Design ist WH80 Nassstation eine ausgezeichnete Wahl für effiziente Produktionsabläufe.
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