Gebraucht EVG / EV GROUP Gemini #293651184 zu verkaufen

Hersteller
EVG / EV GROUP
Modell
Gemini
ID: 293651184
Wafergröße: 8"
Vacuum bonder, 8" CIM: SECS II / GEM Solid State Drive (SSD) Hard Disk Drive (HDD) Control rack Graphical user interface DVD Backup system Wafer ID Reader CMO Turbo molecular pump with control unit Turbo pump Objective: 10x Resolution: 3 N Steps Gas backfill time: <10 sec Purge connection High resolution digital CCD Cameras PC Control Oil-free roughing pump, capacity: 5.4 m³/h (50 Hz), 6.6 m³/h (60 Hz) Ultimate chamber vacuum: 0.1 mbar Purge gas: Mass Flow Controller (MFC) Gases: N2, He, Ar, N2, H2 Analog pressure gauge Range: 0-10 bar Resolution: 0,2 bar High purity pressure regulator Alignment unit: High resolution alignment stage with DC Servomotors Top and bottom wafer chuck with position measurement system Joystick control (3) Spindle alignment stages Measurement system Bond module: Bond chamber with top and bottom side heaters Process: Up to 550°C and 3.5 kN Pressure: 3 bar Temperature controller Electronic pressure regulator Rapid cooling system Ballroom substrate handling module Bondchuck handling module Linear transfer station Ergo load cassette station Scanning endeffektor for wafer handling robot unit Bond chuck ID Tracking Offline recorder Operating system: Windows.
EVG/EV GROUP Gemini ist eine hochmoderne Präzisionsklebeausrüstung für Backend- und Front-End-Anwendungen in fortschrittlichen Verpackungsprozessen. EVG Gemini verwendet einen High-Speed-Wafer-Handling-Roboter und ein Schnellgasfördersystem, um die schnelle und effiziente Verklebung von Mehrfachstempeln pro Waffelpack zu ermöglichen. Es ist für die Halbleiterindustrie mit besonderem Augenmerk auf Prozesswiederholbarkeit, Verschmutzungssteuerung und geringen Gesamtkosten konzipiert. Das Hauptmerkmal der EV GROUP Gemini ist die monochromatische Zweisäulen-Quarzoptik. Dieser Aufbau liefert einen extrem scharfen Lichtfilm mit einem Tiefenfeldverhältnis von 10:1 über ein großes Arbeitsfeld. Die Lichtintensität wird durch eine Kombination von UV- und sichtbaren Modulblenden gesteuert. Die Quarzoptik konzentriert sich auch schnell und genau auf die Ober- und Unterseite des Wafers oder der Matrize, wodurch eine vollständige Abdeckung und eine genaue Ausrichtung der Matrize oder des Wafers ermöglicht wird. Gemini umfasst auch eine einzigartige Ausrichteinheit mit einem einzigartigen, automatisierten Sensor, der auf einer beweglichen Plattform montiert ist. Diese Maschine erfordert vom Benutzer die Eingabe des gewünschten Ausrichtungsmusters für jede Form oder jeden Wafer und das Werkzeug passt den Sensor automatisch an, um die optimale Ausrichtung zu erreichen. Dadurch entfällt die manuelle Einstellung der Position der Matrize, was zu erheblichen Zeit- und Kosteneinsparungen führt. Der Prozessleiter der EVG/EV GROUP Gemini verfügt zudem über eine Gasförderanlage, die eine präzise Steuerung von Gasfluss und Druck ermöglicht, sowie einen optischen Kopf, der in der Lage ist, Optik on-the-fly schnell auszutauschen, wodurch der Anwender schnell zwischen verschiedenen Bond- und/oder Entbindungsprozessen wechseln kann. EVG Gemini eignet sich besonders gut für fortschrittliche Verpackungsprozesse, da es eine druckgesteuerte Verbindungskammer zur Vermeidung von Luftströmung und möglichen Verschmutzungen umfasst. Das Druckregelungsmodell reduziert auch die Prozesszeit, was zu schnellerem Durchsatz und verbesserten Ausbeuten führt. Insgesamt wurde EV GROUP Gemini für schnelle Tests, effiziente Prozesskontrolle und niedrige Betriebskosten konzipiert. Es ist die perfekte Wahl für Unternehmen, die ihre Klebeprozesse verbessern und die Produktionskosten schnell senken möchten.
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