Gebraucht Diffusionsöfen & Zubehör zu verkaufen
Diffusionsöfen und Zubehör spielen eine entscheidende Rolle in der Halbleiterindustrie, insbesondere bei der Herstellung dünner Filme auf Siliziumscheiben. Diese Öfen sind so konzipiert, dass sie eine kontrollierte Umgebung bieten und sicherstellen, dass der Diffusionsprozess mit Präzision und Genauigkeit durchgeführt wird. Diffusionsöfen bestehen aus mehreren Schlüsselkomponenten, darunter einer Ofenkammer, einem Gasfördersystem, einem Temperaturregelsystem und einem Waferkarussell. In der Ofenkammer werden die Wafer platziert und hohen Temperaturen ausgesetzt, typischerweise zwischen 800 und 1200 Grad Celsius. Diese hohe Temperatur ermöglicht es den Dotierstoffatomen, in das Siliziumsubstrat zu diffundieren und seine elektrischen Eigenschaften zu verändern. Das Gasfördersystem ist für die Zuführung der Dotierstoffgase in den Ofenraum zuständig. Diese Gase werden anhand der gewünschten elektrischen Eigenschaften des Endproduktes sorgfältig ausgewählt. Die Temperaturregelung sorgt dafür, dass der Ofen bei der gewünschten Temperatur arbeitet und während des gesamten Prozesses die Temperaturgleichförmigkeit beibehält. Das Waferkarussell hält die Siliziumscheiben und dreht sie während des Diffusionsprozesses. Durch diese Rotation wird eine gleichmäßige Verteilung der Dotierstoffgase über die Wafer gewährleistet, was zu einer gleichmäßigen Dotierung führt. Neben dem Diffusionsofen gibt es mehrere Zubehörteile, die häufig in Verbindung mit dem Ofen verwendet werden. Dazu gehören Quarzboote, die die Wafer während des Diffusionsprozesses halten, und Ladewerkzeuge für die sichere und effiziente Handhabung von Wafern. Insgesamt sind Diffusionsöfen und Zubehör wesentliche Werkzeuge in der Halbleiterindustrie, die eine präzise Steuerung und gleichmäßige Verteilung von Dotierstoffatomen auf Siliziumscheiben ermöglichen. Dies spielt eine entscheidende Rolle bei der Herstellung von Hochleistungs-Halbleiterbauelementen.
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