Gebraucht ASM A 400 #9015529 zu verkaufen

ASM A 400 ist ein Diffusionsofen und dazugehöriges Zubehör von ASM International. Dieser Ofen ist so konzipiert, dass er eine hohe Temperaturkontrolle während thermischer Prozesse ermöglicht und maximale Flexibilität in Bezug auf Prozessanwendungen bietet. Es eignet sich für eine breite Palette von Anwendungen wie wärmeunterstützte und wasserstoffunterstützte chemische Dampfabscheidung (HACVD), thermische Oxidation, Niederdruck-chemische Dampfabscheidung (LPCVD), Hochtemperatur-Ringverschlussglühung (HTASA) und ASM A400 besteht aus Hauptgehäuse, multifunktionalem Leistungsmodul und vertikaler Kammerkomponente. Die Kammerkomponente enthält acht Säulen für Atomkraftmikroskopie (AFM) und Quarzkristallmessungen (QCM). Die Haupteinheit ist ein isoliertes einteiliges Modul, das vertikal mit einem einzigen abnehmbaren Deckel gehalten wird. Es umfasst eine einseitige digitale Steuerung und zwei leicht einstellbare Schaltschleifen für Gassteuerung und Kühlung. Das Leistungsmodul verfügt über digitale Strom-Spannungs-Zeit-Regler und zwei Kühlsysteme, eine Zwangsluftanlage und eine Wasserkühlung. Die vertikale Kammer umfasst ein optionales HF (RF) -Anpassungsnetzwerk und entweder ein Heizkabel oder eine Membranverriegelungseinheit. A-400 verfügt auch über eine Reihe von Sicherheitsmechanismen, wie eine Druckentlastungsmaschine, die ein sicheres Druckniveau im Ofen aufrechterhält, und Abschalt- und Notabschaltungssysteme, die Katastrophen verhindern, wenn Hochgrenzwerte überschritten werden. Der Ofen ist mit einem zweistufigen Kühlwerkzeug ausgestattet, das Luft durch die Säulen zirkuliert und die Strömung periodisch umkehrt, um die Bildung von Hot Spots zu verhindern. Dadurch wird eine gleichmäßige Temperaturverteilung im gesamten Ofen gewährleistet. ASM A-400 verfügt auch über eine Vielzahl von Zubehör zur Prozess- oder Anwenderanpassung. Diese Zubehörteile umfassen ringförmige Verschlussregler zur Steuerung der Aperaturgröße, der Verschlussgeschwindigkeit, der Temperatur und der Zündsteuerung für HTASA; Thermoelemente des Heizelements und Thermoelemente der Ofenkammer zur Überwachung der Temperaturen; und Vakuumdurchführungen zur Vakuumsteuerung. Abschließend ist A400 ein leistungsfähiger, vielseitiger und zuverlässiger Diffusionsofen und dazugehöriges Zubehör. Es ist in der Lage, präzise und konstante Leistung zu liefern und eignet sich für eine Vielzahl von Anwendungen in der Halbleiterindustrie. Es ist mit einer Reihe von Sicherheitsmechanismen ausgestattet, um die Sicherheit des Benutzers zu maximieren und ist einfach mit verfügbarem Zubehör anzupassen.