Gebraucht ASM A 412 #293652798 zu verkaufen
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ID: 293652798
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
Vertical LPCVD furnaces, 12"
2006 vintage.
ASM A 412 ist ein robuster und zuverlässiger Diffusionsofen und Zubehör für eine Vielzahl von Produktionsanforderungen. Dieser Diffusionsofen eignet sich perfekt für ein- oder mehrschichtige Anwendungen mit bis zu drei Geräten und Wafern sowie bietet Hochlauf- und Homogenisierungsfunktionen für optimale Gleichmäßigkeit und Prozessleistung. Das Gerät ist mit bis zu vier unabhängigen Heizzonen und einer leistungsstarken Konvektionslüftersteuerung ausgestattet, um eine schnelle Temperaturanhebung zu gewährleisten. Es ist außerdem mit einem integrierten Gasverteilungssystem ausgestattet, das präzise Gasströme zur präzisen Steuerung und Gleichmäßigkeit des Diffusionsprozesses liefern soll. Mit integrierten Sicherheitsmerkmalen wie Übertemperaturschutz und einer messerrandbeheizten Lufteinheit bietet dieser Diffusionsofen fortschrittliche diffuse Abscheideprozesse mit minimierten Abscheidegeschwindigkeiten, minimaler Substratverformung und optimierter Prozessgleichförmigkeit. Die Maschine umfasst auch Thermoelementsteuerung und eine Reihe von Prozessparametern einschließlich Druck, Vakuum, thermischen Zyklus und zeitbasierte Parameter, die ein hohes Maß an Prozesswiederholbarkeit und Kontrolle ermöglichen. Das Tool bietet außerdem einen benutzerfreundlichen, fortschrittlichen Prozesscontroller mit einer einfachen grafischen Benutzeroberfläche und leicht programmierbaren Befehlen für maximale Bedienerfreundlichkeit. Mit diesen Eigenschaften ist ASM A412 die perfekte Wahl für hochwertige Diffusionsverfahren zur Beschichtung von Folien und Schichten von Oxiden bis Kupfer sowie für eine Vielzahl weiterer Präzisionsbeschichtungsanwendungen.
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