Gebraucht ASM A 412 #293752528 zu verkaufen

ASM A 412 ist ein Diffusionsofen und Zubehör für die großvolumige Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es verwendet einen fortschrittlichen horizontalen, Zwangsluftmodus zum Be- oder Entladen von Proben. Die Ofenkammer ist molybdänbeschichtet und kann bis zu 8 4 "Wafer, 4 8" Wafer oder 4 12 "Wafer aufnehmen. Die Kammer verfügt auch über einen schnellen Abkühlmodus, um alle verfügbaren Abscheidezeiten zu nutzen. Die pulsperiodische Konstanttemperaturregelung bietet eine maximale Temperatur von 1.200 ° C bei einer Genauigkeit von ± 5 ° C. Dadurch wird eine gleichmäßige, qualitativ hochwertige Leistung gewährleistet. ASM A412 verfügt über eine Oxidationszone, die in der Lage ist, eine Atmosphäre aus Sauerstoff, Argon und Stickstoff bereitzustellen. Dies bietet eine überlegene Kontrolle über Implantatarten, Dotierstoffe und Oxide. Das System wird von einem 30kW AC-Produkt und einer Reihe von Stromversorgungen für Gaskästen und Flussmittelkästen angetrieben. Der Flussmittelkasten kontrolliert beheiztes Palladiumfilament und der Massenstromregler hilft, Spitzentemperaturen des Substrats aufrechtzuerhalten. Ein Diffusionsofen 412 ist in der Lage, verschiedene Suszeptor-Öffnungen, die Be- und Entladezeit zu reduzieren. Das Design hilft, eine schnelle Temperaturrate von 10 ° C/sec zu erreichen. Es eignet sich für Prozesse, bei denen eine schnelle Abkühlung der Wafer erforderlich ist, wie LOCOS- und Gate-Oxidbildungen. Das Gerät ist zudem mit einem PC-basierten Prozesscontroller ausgestattet, der bis zu 11 Programmrezepte und bis zu 40 Datenprotokolle speichert. Der Bediener hat die vollständige Kontrolle über die Prozessgrößen, Temperaturen, Druck und so weiter. Die Prozesssteuerung überwacht den gesamten Prozess über eine freie Ofensoftware. Die Hochtemperaturisolierung umfasst Vakuumflaschendämmung und Kühlventilatoren, die helfen, die Ofenkammer schnell mit reduziertem Energieverbrauch abzukühlen. Diese Kühlventilatoren helfen, den Temperaturgradienten zwischen der kalten Zone und der heißen Zone zu verringern. Der Hochgeschwindigkeits-Hubarm reduziert die Betriebszeit und erhöht den Durchsatz. A412 Diffusionsofen ist ideal für Forschungs-, Entwicklungs- und Produktionsanwendungen in der Halbleiterherstellung. Der Designer bietet eine effektive Temperatur- und Atmosphärenkontrolle sowie kurze Zykluszeiten und ist damit das perfekte Werkzeug für die Herstellung hochwertiger Geräte.