Gebraucht ASM A 412 #9076841 zu verkaufen
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ID: 9076841
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2007
Nitride/Ar poly LPCVD dual thermal vertical furnace, 12"
(2) Load ports
Side 1: Configured for pCVD TiN deposition
Side 2: Configured for As doped Poly HiK
Mainframe:
MSC3 maintenance screen
Genmark GB4S back end robot
28 FOUP carousel capacity
Does not include:
Pumps or abatement
Process chemical cabinet
Quartz/tubes
2007 vintage.
ASM A 412 ist ein Diffusionsofen und Zubehör-Kit, das die Herstellung fortschrittlicher Halbleitermaterialien ermöglicht. Der Diffusionsofen besteht aus einer atmosphärisch gesteuerten Ofenkammer, die auf bis zu 1300 Grad C erwärmt werden kann. Die Ausrüstung umfasst einen hochpräzisen Gasregler, der in der Lage ist, den Ofen mit gleichbleibendem Inertgasstrom zu versorgen, um Sauerstoff und Feuchtigkeit zu minimieren. Der Diffusionsofen enthält auch ein luftdichtes Vakuumsystem, das die Lufteinwirkung verringert und eine hochreine Atmosphäre für den Einsatz gewünschter Materialien schafft. Der Diffusionsofen verfügt auch über ein Festkörperheizelement, das den Energieverbrauch minimiert und das Gerät vor dem Trocknen schützt. Heizelemente können einfach über das Bedienfeld eingestellt und überwacht werden. Das Panel verfügt auch über Temperaturregeleinstellungen für konsistente, genaue Diffusion von Materialien. Neben dem Ofen enthält ASM A412 Set eine Auswahl an Zubehör, um eine optimale Leistung zu gewährleisten. Ein Plasmaätzer ist im Lieferumfang enthalten, um die Kammer für gewünschte Anwendungen zu reinigen und vorzubereiten, während die Laminierpresse für gleichmäßige Diffusionsraten und hohe Ausbeute sorgt. Für Entgasungsvorgänge ist auch eine Vakuumpumpe vorgesehen, während ein Hubschloßtürmechanismus die Kammer während der Wartung sichert. Das fortschrittliche Bedienfeld eines 412 ermöglicht automatisierte Operationen und kann so programmiert werden, dass optimale Temperaturen, Timings und Abstände für gewünschte Anwendungen bereitgestellt werden. Darüber hinaus verfügt das Bedienfeld auch über Alarme für Probleme wie Überhitzung, niedrigen Gasdruck usw., um Sicherheit zu gewährleisten und mögliche Ausfallzeiten zu reduzieren. Der Hochleistungsfilter der Maschine sorgt zudem für optimale Gasdiffusions- und Abbiegeverhältnisse. A412 Diffusionsofen und Zubehör-Kit ist eine ideale Wahl für die Schaffung von hochwertigen, fortschrittlichen Halbleitermaterialien, die strengen Industrie- und Sicherheitsstandards entsprechen. Mit seinen integrierten Funktionen und dem präzisen Steuerungstool bietet das Asset zuverlässige Leistung und konsistente Ergebnisse.
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