Gebraucht ASM A 412 #9114074 zu verkaufen

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ASM A 412
Verkauft
Diffusionsöfen & Zubehör
Hersteller
ASM
Modell
A 412
ID: 9114074
Wafergröße: 12"
LPCVD Vertical furnaces, 12" Process: PH3 Doped poly/LPCVD Software version: 6.80C Heater type: MRL Loader configuration, 4 or 5 loader: 4 Quartzware configuration Outer tube: Quartz Inner tube: Quartz Boat: SiC boat Boat fix ring/Cap quartz: Quartz (6) Adiabatic plate (1) SiH4, Type (L-type, Straight, Diffuser, Shower): Multihole, U/D/L (1) O2, Type (L-type, Straight, Diffuser, Shower): Multihole, E (1) PH3, Type (L-type, Straight, Diffuser, Shower): Multihole, U/D/L Vacuum line configuration Design: Original config 10 Torr Baratron model: MKS 10 Torr Baratron full scale setting: 10(F/S) 1000 Torr Baratron model: MKS 1000 Torr Baratron full scale setting: 1000(F/S) ATM sensor model: MKS Vent valve 1 (VV1) normally closed/open,plunger, diaphragm: Normally open,plunger Check valve model: Fujikin Check valve resistance pressure: 2.26 Kpa Mainvalve type, Kitz or CKD: MKS Slow valve, incorporated with mainvalve or separate(AV72,AV77): Separate (PV003) Slow valve orifice size: 2.0mm (PV003) Pressure range of vacuum gauge(Inficon Pirani gauge): 10T Control table Alarm watch/table setting Temp (Low Alarm Limit(deg)/High Alarm Limit(deg)/Check Time(min)) U: 0.7/0.7/30S CU: 0.7/0.7/30S C: 0.7/0.7/30S CL: 0.7/0.7/30S L: 0.7/0.7/30S Pressure (Low Alarm Limit(Torr)/High Alarm Limit(Torr)/Check Time(S)): 0.02/0.02/30S MFC (Low Alarm Limit(%)/High Alarm Limit(%)/Check Time(S)) MFC1: N2: 2%/2%/10sec MFC2: N2: 2%/2%/10sec MFC3: N2: 2%/2%/10sec MFC4: N2: 2%/2%/10sec MFC5 SiH4: 2%/2%/10sec MFC6: SiH4: 2%/2%/10sec MFC7: SiH4: 2%/2%/10sec MFC8: 1%O2/Ar: 1%/1%/10sec MFC9: 5%PH3/N2: 2%/2%/10sec MFC10: 5%PH3/N2: 2%/2%/10sec MFC11: 5%PH3/N2: 2%/2%/10sec MFC12: ClF3: 10%/10%/10sec Transfer table Wafer charge command (charge/discharge) Side dummy (5) Upper (10) Lower (100) Product (5) Monitor (105) Product & Monitor Time 2nd Charge time(min): 0 Wafer cool time(min): 20min Leak rate table Base pressure low Limit(Torr): 1% Base pressure High Limit(Torr): 1% Leak Check check time(s): 60s Leak limit(Torr): 1% Retry Limit(count): 2 Loadlock settings Loadlock configuration O2 analyser model, NGK or Toray: PBI3.1 / PBI4.0 Process L/A Keep value (ppm): 10ppm N2 Flow max (L): 1300L N2 Flow min (L): 300L Ready L/A Keep value (ppm): 10ppm N2 Flow max (L): 1300L N2 Flow min (L): 300L Idle L/A Keep value (ppm): 10ppm N2 Flow max (L): 1300L N2 Flow min (L): 300L L/A O2 limit (ppm): 10ppm.
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ASM A 412 ist ein Einzonen-Labordiffusionsofen und begleitendes Zubehör, das Hochtemperaturverarbeitungsfähigkeiten bietet, die im Diffusionsprozess verwendet werden. Das Diffusionsverfahren wird in einer Vielzahl von Branchen wie Elektronik, Glas, Pulvermetallurgie und Luft- und Raumfahrtfertigung eingesetzt. Das Ofendesign besteht aus zwei Hauptkomponenten; die Halterung und der Herd. Der Hauptzweck des Bügels besteht darin, die Heizelemente zu halten und eine Isolierung der Kammer vorzusehen. Der Herd hält das Prozessteil, sowie eine Reihe von Zubehör, die eine Vielzahl von Setup-Möglichkeiten ermöglichen. Der Ofen wird über einen einstellbaren Temperaturregler und einen manuellen Lift temperaturgeregelt. ASM A412 verfügt über eine Heizkammer mit Abmessungen von 20 Zoll lang mal 7,5 Zoll breit und 7,5 Zoll tief. Die Kammer ermöglicht es, Temperaturen von bis zu 2000 ° F (1093 ° C) über lange Zeiträume aufrechtzuerhalten. Zur effizienten Wärmeübertragung und gleichmäßigen Erwärmung weist die Kammer eine einzige Heizwendel auf, die entlang der Länge der Kammer verläuft und elektrisch angetrieben wird. Die Heizelemente sind in einer Struktur enthalten, die eine effiziente Isolierung ermöglicht. Dies reduziert den Wärmeverlust erheblich und sorgt für konsistentere Temperaturen in der gesamten Kammer. Ein 412-Ofen enthält einen elektronischen Temperaturregler, mit dem der Benutzer die Temperaturniveaus in der Kammer genau überwachen und einstellen kann. Der Regler kann auf einen Bereich von Betriebstemperaturen eingestellt werden und stellt automatisch die Temperatur innerhalb der Kammer ein, um eine eingestellte Temperatur aufrechtzuerhalten. Der Temperaturregler umfasst auch eine Übertemperaturgrenze sowie einen eingebauten Timer, so dass der Ofen sicher und effizient eingesetzt werden kann. Neben der Hauptofenkammer verfügt A412 über zwei zusätzliche Zubehöranschlüsse. Die erste Öffnung dient zum Anschluss externer Gase und/oder Vakuumleitungen, während die zweite Öffnung zum Anbringen eines Rohrofens zum Vorwärmen von Materialien verwendet werden kann. Die Anschlüsse sind für die Befestigung von vielen verschiedenen Zubehörteilen konzipiert, so dass mehr Flexibilität bei der Verwendung des Ofens. Der ASM A 412 ist für den manuellen und halbautomatischen Betrieb ausgelegt. ASM A412 lässt sich mit einem Knopfdruck schnell und einfach für den Einsatz einrichten und eignet sich somit ideal für Recherchen oder Produktionsläufe. Der Ofen kann mit minimalem Aufwand installiert und betrieben werden, so dass der Diffusionsprozess schnell und effizient abgeschlossen werden kann. Insgesamt ist A 412 ein Einzonen-Labordiffusionsofen und begleitendes Zubehör, das Hochtemperaturverarbeitungsfähigkeiten bietet, die im Diffusionsprozess verwendet werden. Es verfügt über eine begrenzte lebenslange Garantie und ist ideal für den Einsatz in Industrie-, Forschungs- und Bildungseinrichtungen gleichermaßen. Mit seinem einfachen Design, der intuitiven Benutzeroberfläche und der zuverlässigen Leistung ist A412 die perfekte Wahl für jeden Labordiffusionsbedarf.
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