Gebraucht ASM A 412 #9205124 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9205124
Wafergröße: 12"
Vertical LPCVD furnace, 12"
Process: NITR
General specification:
Heater element: MRL
Process condition: NIT
Maximum operating temperature: 900c
N2 Load lock
Production wafers: (100) Pieces per boat
Boat operation:
Dual boat
Dual chamber
Furnace:
Loading area light: White
Force air cooling system: Fast ramp
Side maintenance
O2 Density control: 0-100ppm
Furnace temperature controller: MTC
Wafer / Carrier handling:
Carrier type: 12" FOUP
Carrier stage capacity: 12" FOUP
Robot type: GENMARK
Gas distribution:
IGS Maker / Type: FUJIKIN
IGS MFC Maker / Type: HORIBA
IGS Press transducer maker / Type: MYKROLIS
Exhaust specification:
Vacuum gage:
10 torr: MKS
1000 torr: MKS
Main valve: MKS
Pump maker / Model: EDWARDS 1800HTX
Low vacuum valve: MKS
Trap: ASM
Vacuum pressure controller: MKS
Reactor:
Outer / Inner tube material (LP): Quartz
Inner tube yype (LP): Quartz
Inner T/C: TYPE-R LPC /Topco
Boat materail/Type: SiC
Boat rotation
Pedestal material / Type: Quartz
Auto shutter
User interface:
Operation panel: Screen
Indicator type: Touch panel
Operation system: Windows
Dry pumps not included
Power:
Voltage 3Phase: 480VAC
Voltage single-phase: 3
Frequency: 60Hz.
ASM A 412 ist ein Diffusionsofen und Zubehör, das häufig in der Halbleiterindustrie zur Herstellung von Halbleiterscheiben verwendet wird. Der Ofen besteht aus einer hochleistungsfähigen, gasdichten, temperaturgesteuerten Kammer, die mit einer Reihe von Gasquellen, einschließlich Stickstoff, Sauerstoff und Wasserstoff, verbunden ist. Die Kammer ist ferner mit einer Graphitauskleidung und Heizelementen ausgestattet, die einen weiten Bereich von Temperaturen aufweisen, die von einem Kammertemperaturregler gesteuert werden. Die Kammer weist auch eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen auf, wie ein Druckauslöseventil und Alarme. Die Gasquellen werden dann über einen Magnetgaskrümmer mit dem Ofen verbunden, der die Strömung der Gase reguliert und steuert, so dass sie bei Bedarf präzise in den Ofen gelangen können. Das Gas durchläuft dann eine Reihe von Heizelementen, wo es erwärmt wird, und gelangt dann in die Hauptofenkammer. Im Inneren der Kammer wird das Gas auf eine bestimmte Temperatur erwärmt, abhängig von der Art des Prozesses und dem Wafer, der bearbeitet wird. Das erhitzte Gas diffundiert dann durch die Graphitauskleidung und auf den Wafer, wobei je nach Bedarf eine Dünnfilmbeschichtung oder andere Schichten abgeschieden werden. Eine Reihe von Zubehör sind auch für ASM- A412 verfügbar, einschließlich Lastschlösser, Temperaturregler und verschiedene andere Arten von Zubehör. Die Lastschlösser helfen, die Wafer während des Be- und Entladens in einer streng kontrollierten Umgebung zu halten, während die Temperaturregler eine genaue Regelung der Temperatur des Gases ermöglichen und bessere Ergebnisse gewährleisten. Es gibt auch eine Vielzahl anderer Zubehörteile, einschließlich Quarzheizungen, computergesteuerte Systeme und Waferbearbeitungsgeräte. Insgesamt ist A 412 ein fortschrittlicher Diffusionsofen und Zubehör, das in der Halbleiterindustrie weit verbreitet ist, um verschiedene Prozesse und Produkte zu schaffen. Der Ofen ist mit einer Vielzahl von Sicherheits- und Steuerungsmerkmalen sowie einer Reihe von Zubehör zur präzisen Steuerung des Prozesses ausgestattet und kann sehr zuverlässige Ergebnisse erzielen.
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