Gebraucht ASM A 412 #9354370 zu verkaufen
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ID: 9354370
Wafergröße: 12"
Furnace, 12"
Type: G-OX and poly
Bottom reactor
Top WIP
Bottom WIP
Top reactor
WIP Spindle
Panel cover
Power box
Heating element R1
Heating element R2
Blower R1
Blower R2
PP Box
Door plate
Top carousel
Bottom carousel
UPS.
ASM A 412 ist ein Diffusionsofen, der hauptsächlich für Metallbeschichtungen, Halbleiter und andere verwandte Verfahren verwendet wird. ASM A412 ist typischerweise für den Betrieb im Bereich von 1050 ° C bis 1250 ° C ausgelegt und kann eine außerordentliche Gleichmäßigkeit im Bereich von ± 3 ° C erreichen. Diese Ausrüstung ist auch in der Lage, eine Temperaturrampe nach oben und unten und Vorheizen Fähigkeiten, die stabiles, gleichmäßiges und zuverlässiges Wachstum sowohl für lückenlose und lückenlose Schnittstellenschichten zu gewährleisten hilft. Ein 412 ist mit einer Acht-Ports-Diffusionskammer ausgestattet, die bis zu fünf unabhängig voneinander gesteuerte Anschlüsse aufweist. Auf diese Weise können Sensoren und andere Unterstützungsinstrumente in vollem Umfang in die Temperatur eintreten, Temperaturen messen und optimale Wachstumsbedingungen schaffen. Die Stromversorgung ist bis zu 40 KW leistungsfähig, um in kurzer Zeit eine maximale Temperatur zu erreichen. A412 verfügt auch über ein Mehrzonenkompensationssystem, das die Temperatur während des gesamten Prozesses durch die Steuerung der verschiedenen Komponenten stabilisieren kann. ASM A 412 verfügt auch über eine integrierte Kühleinheit, um die Langlebigkeit und Haltbarkeit der Öfen zu gewährleisten. Diese Kühlmaschine hilft, den Temperaturabfall zu reduzieren und die inneren Komponenten zu schützen, was zu einer längeren Lebensdauer des Ofens führt. Weitere Merkmale sind ein überlegenes Temperaturschutzwerkzeug, das den Wärmeschutz von Komponenten ermöglicht, die während des Prozesses zu heiß werden können. ASM A412 bietet auch eine breite Palette von Zubehör und Funktionen zur Optimierung des Diffusionsprozesses. Dazu gehören ein Auto-Tune-Strahlungskäfig, ein erweitertes Bewegungsmodul, Gasverteilersysteme und ein Bedienfeld mit einer einzigen Touchscreen-Schnittstelle. Zur Sicherheit verfügt A 412 auch über ein Thermoelement zur Erkennung von Überhitzungskomponenten sowie ein Hochdruckgebläse zur Kühlung der Diffusionskammer. Insgesamt ist A412 ein zuverlässiger und robuster Diffusionsofen, der gleichmäßige Substrattemperaturen erreichen kann. Es ist die perfekte Wahl für die Beschichtung von Metallen, Halbleiterverarbeitung und andere damit zusammenhängende Aufgaben. Der Ofen bietet erweiterte Funktionen, erweiterten Temperaturschutz und Sicherheitsoptionen, so dass es eine gute Wahl für eine Vielzahl von Anwendungen.
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